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高出力UV-LED照射装置 - 企業2社の製品一覧

製品一覧

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超高出力 UV-LED照射器 ALE/1C

最大50W 超高出力。水銀ランプに代わるLED照射器。UV硬化、半導体検査装置などに使用可能

従来の放電ランプ(水銀ランプ)に代わる、超高出力のLED照射システムです。ALE/1C は制御システム(CSS)と露光システム(ESS)の2 つを接続して使用します。 システムを2 つに分割したことで、装置への統合が容易なコンパクトさと高出力を両立させました。 また、露光システムは、ライトパイプ、ライトガイド等の様々な光学部品と組み合わせてお使いいただくことができます。 水銀ランプ1000W 500Wと、ALE/1Ctとの出力比較は カタログをご覧ください。

  • ステッパー
  • その他半導体製造装置

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高出力UV-LED照射器

UV硬化をランプからLEDに変更します。

UV硬化の光源のLED化は、長寿命化による運用コストの低減、低消費電力化、細かい照射のコントロールなどのメリットがあります。

  • LEDモジュール

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