最大50W 超高出力。水銀ランプに代わるLED照射器。ＵＶ硬化、半導体検査装置などに使用可能
従来の放電ランプ（水銀ランプ）に代わる、超高出力のLED照射システムです。ALE/1C は制御システム（CSS）と露光システム（ESS）の2 つを接続して使用します。 システムを2 つに分割したことで、装置への統合が容易なコンパクトさと高出力を両立させました。 また、露光システムは、ライトパイプ、ライトガイド等の様々な光学部品と組み合わせてお使いいただくことができます。 水銀ランプ1000W,500Wと、ALE/1Ctとの出力比較は カタログをご覧ください。
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基本情報
製品の特徴 ・超高出力（最大50 W） ・高安定性（クローズドループによる出力制御） ・低ランニングコスト（LED使用で長寿命：10,000 時間） ・水銀ランプと代替可能 ・外付け冷却
価格帯
納期
用途／実績例
・マスクアライナー ・ステッパー ・ウェハ周辺露光 ・ＵＶ硬化 ・ＵＶ光源を用いる検査装置
ラインアップ（3）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| ALE/1.1 | |
| ALE/1.2 | |
| ALE/1.3 |
カタログ（5）
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この製品に関するニュース（1）
企業情報
ケイエルブイは、世界各国より最先端の光学部品を発掘し、 医療・環境・分析分野をはじめとする様々な光学技術の発展をサポートしてきました。 「SOLUTION FOR OPTICAL SYSTEM DEMANDS」をテーマに掲げ、 光ソリューションビジネスの積極的な構築・展開を行っています。 高度化・多様化するお客様のニーズにどこよりも迅速かつ的確にお応えし、事業と社会の両面で貢献できる企業へ。 「光エネルギー活用を提案する専門商社」として新しい光の時代を切り拓く、当社の独自性・可能性にあふれる光学ソリューションにご期待ください。