SEMICON Japan2024出展

同一波長のモジュールを複数搭載可能な高出力・高安定のLED光源装置。ハイパワーUV出力最大80W、水銀不使用、

ALE/2は従来の放電ランプを上回る高出力、高安定を実現したLED紫外線照射装置です。最大4波長のLEDを内蔵し、複数波長の出力が可能です。 ALEシリーズのALE/1と大きく異なる点は、同一波長のモジュールを複数搭載できることです。 そのため、i線もしくはg線のみを高強度で出力することも可能で、半導体アプリケーションに適しております。 LEDモジュールは簡単に交換できるため、アプリケーションの変更にも柔軟に対応します。

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• その他半導体製造装置

高出力・高安定のLED光源装置。ハイパワーUV出力最大15W、水銀不使用、内蔵するLEDを選択可能

従来の放電ランプに代わる高出力、高安定のLED光源装置です。 最大5種類のLEDを内蔵できるため、複数の波長の出力が可能です。 また、LEDモジュールは簡単に交換できるため、アプリケーションの変更にも柔軟に対応します。

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• その他半導体製造装置

最大50W 超高出力。水銀ランプに代わるLED照射器。ＵＶ硬化、半導体検査装置などに使用可能

従来の放電ランプ（水銀ランプ）に代わる、超高出力のLED照射システムです。ALE/1C は制御システム（CSS）と露光システム（ESS）の2 つを接続して使用します。 システムを2 つに分割したことで、装置への統合が容易なコンパクトさと高出力を両立させました。 また、露光システムは、ライトパイプ、ライトガイド等の様々な光学部品と組み合わせてお使いいただくことができます。 水銀ランプ1000W,500Wと、ALE/1Ctとの出力比較は カタログをご覧ください。

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• その他半導体製造装置

高出力・高安定のLED光源装置。ハイパワーUV出力最大30W、水銀不使用、内蔵するLEDを選択可能

従来の放電ランプに代わる高出力、高安定のLED光源装置です。 最大5種類のLEDを内蔵できるため、複数の波長の出力が可能です。 また、LEDモジュールは簡単に交換できるため、アプリケーションの変更にも柔軟に対応します。

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高輝度・低デブリを実現したLPP-EUV光源

ISTEQ社のTEUSシリーズは、高輝度・低デブリを実現したレーザー生成プラズマ（laser produced plasma）によるEUV光源です。 従来の液滴ターゲットと異なりプラズマ発生時に飛散するデブリの光学系への付着を防ぐことができます。

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350~1000nmのUVからNIRを1台でカバー。ライトフィールド技術を導入。高解像度のイメージングデータをご提供。

「ハイパースペクトルカメラ ULTRIS X20」は、ライトフィールド技術に基づいた革新的なハイパースペクトルカメラです。 内部に20MPのCMOSセンサーを搭載。高解像度のデータが取得可能です。 「ULTRIS X20」は、従来機種「ULTRIS 20」から測定波長範囲が広がり、350~1000nmの紫外から近赤外までの幅広い波長範囲を1台でカバーできるようになりました。 《 ULTRIS X20 の特長 》 ・動画でのハイパースペクトルイメージングデータ撮影が可能 ・測定波長範囲：350~1000nm　,　164スペクトルバンド ・高分解能 ・410×410 pixcel ・小型 ( 60 × 60 × 57 mm ) , 軽量 ( 350 g ) (標準モデル S20） ・IP規格に準拠した堅牢性の高いハウジング ・水中撮影も可能 小型、軽量な筐体で、一般的なドローンへの搭載も可能です。 164スペクトルバンド、410×410ピクセルの高い空間分解能で研究室やフィールドだけでなく、UAVアプリケーションにも幅広くご使用いただけます。

• その他検査機器・装置

350~1000nmを1台でカバー。UAV用に特化して設計された高分解能、スナップショット型のハイパースペクトルカメラ。

「ハイパースペクトルカメラ ULTRIS X20 Plus」は、ライトフィールド技術に基づいたハイパースペクトルカメラ「ULTRIS X20」にパンシャープン手法を追加したUAV用に特化して設計されたハイパースペクトルカメラです。 従来機種よりも測定波長範囲が広がり、350~1000nmの紫外から近赤外までの幅広い波長域をを1台でカバーできるようになりました。 《 ULTRIS X20 Plusの特長 》 ・動画でのハイパースペクトルイメージングデータ撮影が可能 ・２つのイメージングセンサーを搭載 　ライトフィールド技術による「ULTRIS X 20」にパンクロマティックセンサーを追加 ・高分解能 ・パンクロマティック解像度：1880×1880 px、スペクトル解像度：410×410px（168,100 スペクトル） ・小型、軽量（630g) 「ULTRIS X 20 Plus」は、スキャン無しで数秒で完全なスペクトルデータキューブを取得可能なスナップショット型のため、UAV用としてだけでなく、研究室やフィールドでの動画ハイパースペクトルカメラとしてご使用頂くことも可能です。

• その他検査機器・装置

【OEMに好適】超小型・低価格。動画撮影ができるハイパースペクトルカメラ。

【動画ハイパースペクトルカメラUTLRISの最小サイズ】 ・超小型：29×29×49ｍｍ ・超軽量(126 g) ・ライトフィールド技術に基づくスナップショット型ハイパースペクトルカメラ。 ・動画撮影可能 ・450～850nm（VNIR領域）の波長範囲をカバー 【超小型・軽量】×【低価格】でOEMに好適 ・食品、工業、メディカル、リサイクル等、さまざまな産業分野に新たなハイパースペクトルイメージングの市場を切り開きます。 超小型・軽量のUTLRIS 5は、UASでの使用にも適しています。

• その他検査機器・装置

VUV、EUV、軟X線、硬X線領域に対応した超高感度のCCDカメラ

VUV、EUV、軟X線、硬X線領域に対応した超高感度のCCDカメラです。 高感度のCCDと冷却技術により高いSN比を実現しています。 CMOSカメラでは測定できないような微弱な信号の検出が可能です。 ■超高感度 最大98％の高い量子効率を実現したCCDセンサーで、微弱な信号を測定可能 18bitデジタルによる高いダイナミックレンジを実現し、強い信号と弱い信号を同時に測定可能 -100℃まで冷却するTE冷却システムが、0.00015e-/pixel/sの非常に低い暗電流を実現 ■カメラとしての高い性能 最大5MHzのフレームレートで読み出しが可能 GigE と USB3.0の複数インターフェースを搭載 カメラのソフトウェアとSDKを提供 ■真空装置での使用に最適 CFフランジのDN63、DN100、 DN160に対応しており、真空装置への取り付けが簡単 カメラの設計と素材への工夫により80度ベークへの耐性があり、UHV(Ultra High Vacuum)で使用が可能

• その他

【真空チャンバー内向け】超高感度VUV,EUV,X線領域対応 CCDカメラ

真空チャンバ内で使用が可能なVUV、EUV、X線領域に対応した超高感度CCDカメラです。 高感度のCCDと冷却技術により超低ノイズで高いSN比を実現しているので、CMOSカメラでは測定できないような微弱な信号の検出が可能です。 ステンレス製のハウジングを採用しており、アウトガスの発生を極限まで抑えているため、UHV(Ultra High Vacuum)の環境でご使用いただけます。 greateyes社のCCDカメラは、VUV,EUV,X線領域に対して超高感度という圧倒的な特徴を持ちながら、カメラとしても高い性能を有しており、真空装置での使用に最適です。

• その他

広波長帯域[200nm~2000nm]、超高輝度、高安定

Hyperchromatorは、ISTEQのレーザー励起白色光源XWS-30を光源として用いた波長可変光源です。 ISTEQのXWS-30 専用に開発されたモジュールが、XWS-30 からの光を効率よく取り込み、グレーディング式の分光方式でその光の一部の波長を取り出します。 そのため、XWS-30 の強みである、広波長帯域、極小発光点、超高輝度、高安定を生かした波長可変光源となっています。 【特長】 ・UVからNIR（200～2000nm)の幅広い波長帯域 ・高い輝度　（光源が高輝度　且つ　I/F部のスリット削減による高透過率化） ・ポータブルサイズ　（47 x 45 x 25 cm：16kg) ・グレーディングの構成を選択可能 ・長寿命による高いコストパフォーマンス ・レーザー励起白色光源を使用しているため、高安定

• その他

[出展展示] 協働ロボットを使ったパイナップルの吸着動態展示 協働ロボットとツールチェンジャーを使ったハンドのよる動態展示 自重5kg二面グリッパー静態展示 エジェクター圧縮空気消費比較 多種吸着パッド フォームグリッパー 他 比較的ゆとりをもってご覧いただける初日または2日目のご来場をお勧めいたします。※３日目（金曜日）は場内の大混雑が予想されます。 【グリッパー即売会】 展示ブースにて、下記2製品を格安で販売いたします。 特別価格は会場にてお問い合わせください。 ■『KENOSグリッパー KVGL.400.100,N214.FR6.S2』 URL：https://www.youtube.com/watch?v=HsNRwrDtjW0 ■『協働ロボットハンド KCS.Q110.N301.110.FR6.SX422.V1.X.X』 URL：https://www.youtube.com/watch?v=GFKg3blZzdQ 実際のアプリケーションでのご使用はもちろん、テスト機としてのご活用にも最適です。この機会にいかがでしょうか？

弊社初のPEEK造形対応機「G-ZERO MP1」をはじめ、国産3DプリンターのG-ZEROシリーズは、FFF方式のスーパーエンプラ対応機として業界トップクラスの造形速度を実現しています。 さらに、高機能樹脂POTICONフィラメントとの最適な組み合わせにより、微細性・高剛性・高強度を同時に実現し、実用レベルでの高性能造形を可能にします。 本講演では、G-ZEROシリーズとPOTICON FILAMENTが切り拓くロボットの未来についてお伝え致します。 詳細 https://irex.nikkan.co.jp/webinar/detail/1509

エア・ウォーター・メカトロニクスは、2025年12月17日（水）～19日（金）に東京ビッグサイトで開催される 「SEMICON JAPAN 2025」に、エア・ウォーターグループの一員として出展いたします。 今年度は、昨年より小間数を拡大し、グループ14社が一体となって、半導体産業における「トータルソリューション」の提案力と総合力を展示いたします。 ぜひ皆様お誘い合わせの上、エア・ウォーターグループのブースにお越しくださいますようお願い申し上げます。 ご来場を心よりお待ちしております。

弊社主催のWebセミナー開催のお知らせです。 【新プラン「モジトリPlus」登場！ 紙からデータへ！モジトリではじめる社内DXの第一歩】 写真・画像・PDFファイルなどから文字をデータ化して kintoneの各種フィールドに自動入力することができる『モジトリ』。 本セミナーでは、モジトリの基本的な機能や使い方をわかりやすくお伝えします。 さらに11月の大型アップデートで追加されたPlusプランや書類特化モジトリについても詳しく解説します。 【こんな方におすすめ】 ・データの転記作業で目視による転記のミスが多く困っている ・紙で保存しているものをデジタル化したいと思っている 【タイムテーブル】 ・モジトリの機能について ・モジトリPlusの機能について ・各プランの詳細・料金について ・質疑応答 皆様のお申込みをお待ちしております。

情報セキュリティの国際規格「ISO27001」は、取引先からの信頼獲得や情報漏洩リスクの軽減に不可欠な規格です。 本セミナーでは、規格の基礎知識から、取得プロセス、導入による具体的な効果まで、分かりやすく解説します。 セキュリティ対策を強化したい企業・組織、必見です！ ▶詳細・お申込みは下記「詳細・お申込み」ボタンより