SEMICON Japan2024出展

同一波長のモジュールを複数搭載可能な高出力・高安定のLED光源装置。ハイパワーUV出力最大80W、水銀不使用、

ALE/2は従来の放電ランプを上回る高出力、高安定を実現したLED紫外線照射装置です。最大4波長のLEDを内蔵し、複数波長の出力が可能です。 ALEシリーズのALE/1と大きく異なる点は、同一波長のモジュールを複数搭載できることです。 そのため、i線もしくはg線のみを高強度で出力することも可能で、半導体アプリケーションに適しております。 LEDモジュールは簡単に交換できるため、アプリケーションの変更にも柔軟に対応します。

• ステッパー
• その他半導体製造装置

高出力・高安定のLED光源装置。ハイパワーUV出力最大15W、水銀不使用、内蔵するLEDを選択可能

従来の放電ランプに代わる高出力、高安定のLED光源装置です。 最大5種類のLEDを内蔵できるため、複数の波長の出力が可能です。 また、LEDモジュールは簡単に交換できるため、アプリケーションの変更にも柔軟に対応します。

• ステッパー
• その他半導体製造装置

最大50W 超高出力。水銀ランプに代わるLED照射器。ＵＶ硬化、半導体検査装置などに使用可能

従来の放電ランプ（水銀ランプ）に代わる、超高出力のLED照射システムです。ALE/1C は制御システム（CSS）と露光システム（ESS）の2 つを接続して使用します。 システムを2 つに分割したことで、装置への統合が容易なコンパクトさと高出力を両立させました。 また、露光システムは、ライトパイプ、ライトガイド等の様々な光学部品と組み合わせてお使いいただくことができます。 水銀ランプ1000W,500Wと、ALE/1Ctとの出力比較は カタログをご覧ください。

• ステッパー
• その他半導体製造装置

高出力・高安定のLED光源装置。ハイパワーUV出力最大30W、水銀不使用、内蔵するLEDを選択可能

従来の放電ランプに代わる高出力、高安定のLED光源装置です。 最大5種類のLEDを内蔵できるため、複数の波長の出力が可能です。 また、LEDモジュールは簡単に交換できるため、アプリケーションの変更にも柔軟に対応します。

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• その他半導体製造装置

高輝度・低デブリを実現したLPP-EUV光源

ISTEQ社のTEUSシリーズは、高輝度・低デブリを実現したレーザー生成プラズマ（laser produced plasma）によるEUV光源です。 従来の液滴ターゲットと異なりプラズマ発生時に飛散するデブリの光学系への付着を防ぐことができます。

• その他

350~1000nmのUVからNIRを1台でカバー。ライトフィールド技術を導入。高解像度のイメージングデータをご提供。

「ハイパースペクトルカメラ ULTRIS X20」は、ライトフィールド技術に基づいた革新的なハイパースペクトルカメラです。 内部に20MPのCMOSセンサーを搭載。高解像度のデータが取得可能です。 「ULTRIS X20」は、従来機種「ULTRIS 20」から測定波長範囲が広がり、350~1000nmの紫外から近赤外までの幅広い波長範囲を1台でカバーできるようになりました。 《 ULTRIS X20 の特長 》 ・動画でのハイパースペクトルイメージングデータ撮影が可能 ・測定波長範囲：350~1000nm　,　164スペクトルバンド ・高分解能 ・410×410 pixcel ・小型 ( 60 × 60 × 57 mm ) , 軽量 ( 350 g ) (標準モデル S20） ・IP規格に準拠した堅牢性の高いハウジング ・水中撮影も可能 小型、軽量な筐体で、一般的なドローンへの搭載も可能です。 164スペクトルバンド、410×410ピクセルの高い空間分解能で研究室やフィールドだけでなく、UAVアプリケーションにも幅広くご使用いただけます。

• その他検査機器・装置

350~1000nmを1台でカバー。UAV用に特化して設計された高分解能、スナップショット型のハイパースペクトルカメラ。

「ハイパースペクトルカメラ ULTRIS X20 Plus」は、ライトフィールド技術に基づいたハイパースペクトルカメラ「ULTRIS X20」にパンシャープン手法を追加したUAV用に特化して設計されたハイパースペクトルカメラです。 従来機種よりも測定波長範囲が広がり、350~1000nmの紫外から近赤外までの幅広い波長域をを1台でカバーできるようになりました。 《 ULTRIS X20 Plusの特長 》 ・動画でのハイパースペクトルイメージングデータ撮影が可能 ・２つのイメージングセンサーを搭載 　ライトフィールド技術による「ULTRIS X 20」にパンクロマティックセンサーを追加 ・高分解能 ・パンクロマティック解像度：1880×1880 px、スペクトル解像度：410×410px（168,100 スペクトル） ・小型、軽量（630g) 「ULTRIS X 20 Plus」は、スキャン無しで数秒で完全なスペクトルデータキューブを取得可能なスナップショット型のため、UAV用としてだけでなく、研究室やフィールドでの動画ハイパースペクトルカメラとしてご使用頂くことも可能です。

• その他検査機器・装置

【OEMに好適】超小型・低価格。動画撮影ができるハイパースペクトルカメラ。

【動画ハイパースペクトルカメラUTLRISの最小サイズ】 ・超小型：29×29×49ｍｍ ・超軽量(126 g) ・ライトフィールド技術に基づくスナップショット型ハイパースペクトルカメラ。 ・動画撮影可能 ・450～850nm（VNIR領域）の波長範囲をカバー 【超小型・軽量】×【低価格】でOEMに好適 ・食品、工業、メディカル、リサイクル等、さまざまな産業分野に新たなハイパースペクトルイメージングの市場を切り開きます。 超小型・軽量のUTLRIS 5は、UASでの使用にも適しています。

• その他検査機器・装置

VUV、EUV、軟X線、硬X線領域に対応した超高感度のCCDカメラ

VUV、EUV、軟X線、硬X線領域に対応した超高感度のCCDカメラです。 高感度のCCDと冷却技術により高いSN比を実現しています。 CMOSカメラでは測定できないような微弱な信号の検出が可能です。 ■超高感度 最大98％の高い量子効率を実現したCCDセンサーで、微弱な信号を測定可能 18bitデジタルによる高いダイナミックレンジを実現し、強い信号と弱い信号を同時に測定可能 -100℃まで冷却するTE冷却システムが、0.00015e-/pixel/sの非常に低い暗電流を実現 ■カメラとしての高い性能 最大5MHzのフレームレートで読み出しが可能 GigE と USB3.0の複数インターフェースを搭載 カメラのソフトウェアとSDKを提供 ■真空装置での使用に最適 CFフランジのDN63、DN100、 DN160に対応しており、真空装置への取り付けが簡単 カメラの設計と素材への工夫により80度ベークへの耐性があり、UHV(Ultra High Vacuum)で使用が可能

• その他

【真空チャンバー内向け】超高感度VUV,EUV,X線領域対応 CCDカメラ

真空チャンバ内で使用が可能なVUV、EUV、X線領域に対応した超高感度CCDカメラです。 高感度のCCDと冷却技術により超低ノイズで高いSN比を実現しているので、CMOSカメラでは測定できないような微弱な信号の検出が可能です。 ステンレス製のハウジングを採用しており、アウトガスの発生を極限まで抑えているため、UHV(Ultra High Vacuum)の環境でご使用いただけます。 greateyes社のCCDカメラは、VUV,EUV,X線領域に対して超高感度という圧倒的な特徴を持ちながら、カメラとしても高い性能を有しており、真空装置での使用に最適です。

• その他

広波長帯域[200nm~2000nm]、超高輝度、高安定

Hyperchromatorは、ISTEQのレーザー励起白色光源XWS-30を光源として用いた波長可変光源です。 ISTEQのXWS-30 専用に開発されたモジュールが、XWS-30 からの光を効率よく取り込み、グレーディング式の分光方式でその光の一部の波長を取り出します。 そのため、XWS-30 の強みである、広波長帯域、極小発光点、超高輝度、高安定を生かした波長可変光源となっています。 【特長】 ・UVからNIR（200～2000nm)の幅広い波長帯域 ・高い輝度　（光源が高輝度　且つ　I/F部のスリット削減による高透過率化） ・ポータブルサイズ　（47 x 45 x 25 cm：16kg) ・グレーディングの構成を選択可能 ・長寿命による高いコストパフォーマンス ・レーザー励起白色光源を使用しているため、高安定

• その他

2025年5月28日(水)～5月30日(金)に東京ビッグサイトで開催される「ワイヤレスジャパン 2025×ワイヤレス・テクノロジー・パーク (WTP) 2025」に、アイ・ビー・エス・ジャパン株式会社とEkahau Inc.が共同出展いたします。優れたWi-Fiネットワークの設計、検証、維持、トラブルシューティングに必要なすべてが揃ったEkahauのソリューションをメインに、弊社が取り扱う産業のDXを推進するワイヤレスソリューションを展示いたします。 サイトサーベイってどうやるの？専門知識がないと難しいのでは？…そんなお客様必見！会場にて今年も「サイトサーベイ体験企画」を実施いたします！Wi-Fi 7対応の高速・高精度Wi-Fi診断/測定デバイスSidekick 2を肩からさげて会場内を歩いて実際にサーベイを行い、電波収集速度や、優れた可視化・解析で最適なWi-Fi環境へ導くEkahauのソリューションをぜひ体感してください！ ※事前申込制となりますので、「サイトサーベイ体験のお申し込みはこちら」から詳細をご確認いただきお申込みください。

次世代型ハイパワー・ハイブリッドクーラントシステム smartec社Aeroforceのデモ実演を見どころにした展示を予定しております！ その他にも、Nine9社のTDチャンファーミルや大好評のFXコーティングを施した7leaders社の最新エンドミルなど… 生産現場の加工を効率化する革新的な切削工具をご用意し、皆さまのご来場を心よりお待ちしております！ 詳細はこちら https://toolde.co.jp/?p=5317

FTIR・ラマン分光法の基礎とソフトウエアの活用法、異物分析のためのサンプリング、解析ノウハウについて、皆さまの日ごろのお仕事に役立つ実践的な情報をご紹介する無料セミナー、FTIR・ラマン分光法の基礎・異物分析セミナー 2025を全国10カ所で開催します。 日常の分析において必要な基礎知識、プロが教える実践的な異物分析テクニック、実機を用いたワークショップやさまざまな業界における異物分析の測定事例など、多様な情報をご提供いたします。また、日ごろの分析業務でのお困りごとなどを、当社スタッフに直接ご相談いただけます。皆さまのご参加を心よりお待ち申し上げております。

本セミナーでは、モバイルアプリの作成から社内システムとのデータ連携やデータ活用業務の自動化までをノーコードで簡単に実現できる「Platio Connect」をご紹介します。デモや、実際に業務効率化を実現された企業の事例についてもお伝えします。現場のデータを社内資産として有効活用したい方や、社内のデータを現場でも活用したい方、現場のDX推進にご関心のある方は、ぜひご視聴ください。

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