同一波長のモジュールを複数搭載可能な高出力・高安定のLED光源装置。ハイパワーUV出力最大80W、水銀不使用、
ALE/2は従来の放電ランプを上回る高出力、高安定を実現したLED紫外線照射装置です。最大4波長のLEDを内蔵し、複数波長の出力が可能です。 ALEシリーズのALE/1と大きく異なる点は、同一波長のモジュールを複数搭載できることです。 そのため、i線もしくはg線のみを高強度で出力することも可能で、半導体アプリケーションに適しております。 LEDモジュールは簡単に交換できるため、アプリケーションの変更にも柔軟に対応します。
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基本情報
製品の特徴 ・超ハイパワーUV出力:最大80W(単一波長でも可) ・水銀不使用 ・LEDで高安定、ランニングコスト削減 ・内蔵するLEDを選択可能 ・365nm/385nm/405nm/435nm ・フィードバックコントロール制御による出力維持 ・純正の冷却システムを併せてご提供。既存システムへの統合可。
価格帯
納期
用途／実績例
■半導体アプリケーション用UV-LED光源装置 ・マスクアライナー ・ウェーハ ステッパー ・ウェーハエッジ露光 ・フォトマスク検査用光源 ■UV樹脂の硬化
ラインアップ（4）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| ALE/1.1 | |
| ALE/1.2 | |
| ALE/1.3 | |
| ALE/2 |
カタログ（5）
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この製品に関するニュース（1）
企業情報
ケイエルブイは、世界各国より最先端の光学部品を発掘し、 医療・環境・分析分野をはじめとする様々な光学技術の発展をサポートしてきました。 「SOLUTION FOR OPTICAL SYSTEM DEMANDS」をテーマに掲げ、 光ソリューションビジネスの積極的な構築・展開を行っています。 高度化・多様化するお客様のニーズにどこよりも迅速かつ的確にお応えし、事業と社会の両面で貢献できる企業へ。 「光エネルギー活用を提案する専門商社」として新しい光の時代を切り拓く、当社の独自性・可能性にあふれる光学ソリューションにご期待ください。