GasPro 高温用ガスフィルター TEM-700シリーズ
最高使用温度 400℃対応の高性能メンブレンガスフィルター
GasProTEM-700シリーズは、反応性のガスやハロゲン化マイクロエレクトロニクスガス用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、フィルター材質は0.01ミクロン。大流量で低いデルタPが必要なケース、またスペースが限られているところに最適です。 本体はグラスファイバーとSUS316Lの電解研磨された溶接ハウジングで構成されており、類似サイズのメンブレンフィルターよりも10～20倍高いろ過性能があります。 清浄度を確保するためにろ過した窒素でパージされ出荷されます。TEM-700は高温用途向けで（Max.400℃）、様々な接続タイプをご用意しており容易に取り付けられるようになっています。
- 企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
- 価格：応相談
