高温プロセス評価 - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

小型ハロゲン対応炉｜F系・Cl系ガスを用いた高温プロセス評価

腐食性ガスによる炉材劣化・リーク不安を抑え、ハロゲン雰囲気試験を安全に検討

ハロゲンガス（F系、Cl系など）を伴う高温プロセスでは、一般的な電気炉ではヒーター、炉材、配管、シール材の腐食や劣化が問題になる場合があります。 特に、フッ素系ガスや塩素系ガスを用いた表面処理、エッチング、洗浄、反応評価では、炉内材料の耐食性、排気・除害、ガス漏洩対策を含めた装置設計が重要です。 当社の小型ハロゲン対応炉は、腐食性ガスを用いた高温処理を小スケールで検討するための試験炉です。耐食材料、スクラバー連動、インターロック、安全機器を含めて、用途に応じた構成を検討できます。 【特長】 ■ F系・Cl系などのハロゲンガス雰囲気に対応 ■ 腐食性ガスを想定した炉材・配管・シール構成を検討 ■ スクラバー、ガス検知、非常遮断との連動が可能 ■ 小型炉で温度・ガス濃度・処理時間を事前評価 ■ 量産炉導入前のプロセス成立性確認に対応 ※詳しくは資料ダウンロードまたはお問い合わせください。