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★高硬脆性を持つ各種GaN/SiC関係の素材の最新研磨技術
★大口径化対応、量産技術化へ対応する技術の今後とは? ★SiCウェハ加工時に残留する加工変質層の特徴や後工程への影響、加工変質層の分析技術についても紹介 ★事前内容リクエストサービス実施中! お客様の実務課題の持ち込み大歓迎です! 【会 場】 てくのかわさき 5F 第5研修室【神奈川・川崎】 【日 時】 平成25年9月17日(火) 11:00-15:45 【講 師】 第1部 (独)産業技術総合研究所 先進パワーエレクトロニクス研究センター・ウェハプロセスチーム チーム長・主任研究員 加藤 智久 氏 先進パワーエレクトロニクス研究センターのホームページはこちらから 第2部 並木精密宝石(株) NJC技術研究所 御担当者様 第3部 大阪大学 大学院 工学研究科 教授 山内 和人 氏
腐食性ガスによる炉材劣化・リーク不安を抑え、ハロゲン雰囲気試験を安全に検討
ハロゲンガス（F系、Cl系など）を伴う高温プロセスでは、一般的な電気炉ではヒーター、炉材、配管、シール材の腐食や劣化が問題になる場合があります。 特に、フッ素系ガスや塩素系ガスを用いた表面処理、エッチング、洗浄、反応評価では、炉内材料の耐食性、排気・除害、ガス漏洩対策を含めた装置設計が重要です。 当社の小型ハロゲン対応炉は、腐食性ガスを用いた高温処理を小スケールで検討するための試験炉です。耐食材料、スクラバー連動、インターロック、安全機器を含めて、用途に応じた構成を検討できます。 【特長】 ■ F系・Cl系などのハロゲンガス雰囲気に対応 ■ 腐食性ガスを想定した炉材・配管・シール構成を検討 ■ スクラバー、ガス検知、非常遮断との連動が可能 ■ 小型炉で温度・ガス濃度・処理時間を事前評価 ■ 量産炉導入前のプロセス成立性確認に対応 ※詳しくは資料ダウンロードまたはお問い合わせください。
