高温対応ダイヤフラムバルブ(薬液) - メーカー・企業と製品の一覧

【半導体向け】高温対応ダイヤフラムバルブ

高温環境下でも安定供給を実現するダイヤフラムバルブ

半導体製造における薬液供給では、高い純度と温度管理が求められます。特に、薬液の劣化や異物混入は、製品の品質に深刻な影響を与える可能性があります。また、高温環境下での使用は、バルブの耐久性や信頼性を大きく左右します。高温対応ダイヤフラムバルブ『ZDシリーズ』『ZDーKシリーズ』は、これらの課題に対応し、安定した薬液供給を実現します。 【活用シーン】 ・薬液供給ライン ・材料容器への供給 ・高温環境下での使用 【導入の効果】 ・シート交換によるメンテナンス性の向上 ・高温環境下での安定した性能 ・高い製品純度の維持