高温恒温槽『クリーンオーブン』【半導体ウェハーの高温処理に！】
装置内のHEPAフィルターにより高いクリーン度を保つ為、半導体ウェハーの高温処理に適した高温恒温槽！
『クリーンオーブン』は、クリーンエアによる高温恒温槽です。 装置内のHEPAフィルターにより高いクリーン度を保つ為、半導体ウェハー の高温処理に適しております。各寸法、使用温度の変更や操作スイッチの 配置等の細かい仕様をご使用条件に合わせて設計させていただきます。 【特長】 ■装置内のHEPAフィルターにより高いクリーン度を保つ ■半導体ウェハーの高温処理に好適 ■操作パネルに配置されたカラータッチパネルによる 操作、温度モニターが可能 ■プログラム温調計の採用によりプログラム運転が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：三田産業株式会社
- 価格：応相談
