装置内のHEPAフィルターにより高いクリーン度を保つ為、半導体ウェハーの高温処理に適した高温恒温槽！
『クリーンオーブン』は、クリーンエアによる高温恒温槽です。 装置内のHEPAフィルターにより高いクリーン度を保つ為、半導体ウェハー の高温処理に適しております。各寸法、使用温度の変更や操作スイッチの 配置等の細かい仕様をご使用条件に合わせて設計させていただきます。 【特長】 ■装置内のHEPAフィルターにより高いクリーン度を保つ ■半導体ウェハーの高温処理に好適 ■操作パネルに配置されたカラータッチパネルによる 操作、温度モニターが可能 ■プログラム温調計の採用によりプログラム運転が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【構造(抜粋)】 ■外形寸法：W1650×H900×D1400(mm) ■槽内寸法：W500×H500×D500(mm) ■使用温度：+60～+350℃ ■温度分布：±2%以内 ■吸排気：ダンパーによる操作 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■半導体ウェハーの高温処理 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
当社では、恒温槽を中心に各種の環境試験装置を設計・製作・販売しております。 社内での一貫生産を行っており、量産品や一般の市販品とは異なり、お客様が 希望された装置を製作可能です。 また、ウェハー搬送も含め総合的なラインの構築も行っております。 設置後も専門のサービススタッフが対応いたしますので、アフターケアも万全です。