高真空ゲートバルブ SERIES 09.1
0.1MPaの差圧でバルブの開閉動作が可能な高真空ゲートバルブ
0.1MPaの差圧でバルブの開閉動作が可能 -真空封止アプリケーション用の高真空ゲートバルブ -ウェッジシールにより圧力差があっても開け閉め可能
- 企業：VAT株式会社
- 価格：応相談
高真空ゲートバルブ - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり
高真空ゲートバルブの製品一覧
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UHVゲートバルブ SERIES 10.8
開位置250℃、閉位置200℃までベーク可能で水分を飛ばし、超真空状態をキープ。直接板に焼きつくシールでゴミが溜まらない。
-潤滑剤不要 -DN 63-200用 Vulcanizedシール -メンテナンスが容易
- 企業：VAT株式会社
- 価格：応相談
『超高・高真空用バルブ 総合カタログ』※無料進呈中
半導体やFPDなどの製造プロセスに活躍！多様なニーズに応えるラインアップを掲載
当社は、半導体やFPDなどの製造に用いられる 『超高・高真空用バルブ』の設計・製作を手がけています。 ただいま、各種製品を収録した“総合カタログ”を進呈中です。 微細化する半導体プロセスに対応した「True L-Motion Gate Valve」をはじめ、 大型化するFPD基板に対応した「Gate valve T-Motion」や、 少ないガス流量でも圧力制御可能な「APC Penduroll Valve」など お客様のご要望に応えるラインアップを掲載しています。 【掲載内容】 ◎超高・高真空用バルブのご案内 ◎搬送ゲートバルブ ◎排気系ゲートバルブ ◎オプション ※詳しくは資料をご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
- 企業：株式会社ブイテックス 本社
- 価格：応相談
