角型ゲートバルブ/インサート L-MOTION
開閉動作をエアシリンダーで行うことで衝撃とパーティクルを低減し、超寿命化を可能に
エッチャー、CVDのような過酷なプロセスに最適。 -real L-MOTIONによるゲートシールの均一な押し付けおよび長寿命化 -サービスカバーからの簡単なメンテナンス -開または閉位置での圧空ロック機構 -パーティクルフリー、ショックフリー -シール材に合わせてシール力を調整可能 -低ショック
- 企業：VAT株式会社
- 価格：応相談
角形ゲートバルブ - メーカー・企業4社の業務用製品ランキング | イプロスものづくり
角形ゲートバルブの製品一覧
1～8 件を表示 ／ 全 8 件
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大型角型ゲートバルブ FLAPVAT Series 06.8
短い開閉時間による高いスループット
-保有コストが低い -短い開閉時間による高いスループット -お客様指定のデザイン
- 企業：VAT株式会社
- 価格：応相談
角型ゲートバルブ『 ガリバー 』
角型ゲートバルブ『 ガリバー 』
ゲートバルブ『ガリバー』は、シール開口の大型化が容易であり Ｇ５～Ｇ１０.５まで豊富な実績を有します。 弁板の傾斜動作が不要のため、シール動作が安定し信頼性が向上します。 ■片面シール L-motion type 大開口サイズを得意とする当社の代名詞であるゲートバルブです。 弁板ユニットに自社製ベローズを 組み合わせたシリンダーを搭載することで 大開口であっても安定した seal 性を確保することができます。 また差圧キャンセル構造を取り入れることにより、 逆圧対応時に弁板に作用する圧力差を 大幅に低減することも可能です。 ■両面シール T-motion type L-motion type を進化させたゲートバルブです。 Lock ～ Free 時に 2 枚の弁板を同時に動作させることで 動作時間の短縮が可能です。 またロッドの変形も無いことから、 反力による振動の発生も抑えられます。 運転モードの切替もオプションとして選択することができます。
角型ゲートバルブ『Gate valve T-Motion』
大型化するFPD基板(G11)に対応！横搬送共に無摺動を実現した角型ゲートバルブ
『Gate valve T-Motion』は、バルブサイズ(幅×高さ)の制約無く装置設計者の 思いのままに設定可能な角型ゲートバルブです。 独自のバルブモーションにより、開閉速度を落とすことなく低振動化を 実現しました。 バルブサイズを超えた部品の共通化により、低価格な製品となっております。 【特長】 ■低振動 ■低パーティクル ■低価格 ■さまざまな世代にマッチ ■大型化するFPD基板(G11)に対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ブイテックス 本社
- 価格：応相談
大型角型ゲートバルブ SOLVAT Series 06.6
過酷なプロセスおよび高温に対応した設計
-短い開閉時間による高いスループット -過酷なプロセスおよび高温用の設計 -バルブのフランジの面間距離が小さい
- 企業：VAT株式会社
- 価格：応相談
大型角型ゲートバルブ TWINVAT Series 06.1
軽量コンポーネントによる高速動作が可能な大型角型ゲートバルブ
-軽量コンポーネントによる高速動作速度 -メンテナンス中のシステム停止時間なし -3つの異なるサービスポジション -メンテナンス中の安全モード
- 企業：VAT株式会社
- 価格：応相談
角型ゲートバルブ『 コスラーズ 』
角型ゲートバルブ『 コスラーズ 』
■片面シール Normal type 『無摺動』を設計思想として開発し､ 発展させたゲートバルブです。 誕生以来その確かな性能を評価され、 現在では様々な市場､ 環境で御使用頂いております。 開口サイズ、圧力条件、高温対応、弁箱有無等々 お客様の多種多様なニーズに合わせてカスタマイズ致します。 【特長】 ・パーティクルフリー ・シンプルな構造 ・長寿命（自社ベローズ採用） ■両面シール seal 方向切替 type Normal type に更なる機能を持たせたゲートバルブです。 seal 方向をトランスファーチャンバー側へ切り替えることにより、 大気開放するプロセスチャンバー以外の真空を保持､ それによりプロセスチャンバーのメンテナンス中も 装置の稼働を継続できます。 その状態でプロセスチャンバー側の 弁板 seal 用 O-ring の交換も容易に可能です。 【特長】 ・高負荷プロセス向け ・弁体イージーメンテナンス ・長寿命（自社ベローズ採用）
角型ゲートバルブ
「シングルゲートバルブ」と「デュアルゲートバルブ」をラインアップ！
当製品は、半導体製造装置のプロセスチャンバー用の真空ゲートバルブです。 カム駆動式による逆圧対応の「シングルゲートバルブ」と完全水平移動の為、 Oリングの擦れが無い「デュアルゲートバルブ」をラインアップ。 お客様ご要求仕様に基づくカスタマイズも承ります。 【特長】 〈デュアルゲートバルブ〉 ■完全水平移動の為、Oリングの擦れが無い ■左右の独立駆動によりPM/TMチャンバーのメンテナンス性が向上 ■コンパクト設計(シングルバルブと同サイズ) ■開口45×450mmに対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：ナカンテクノ株式会社
- 価格：応相談
