超高真空ポンプ NEGLAZE
無酸素Pd/Ti蒸着ICFゼロレングスNEGポンプ
NEG（Non-Evaporable Getter）は、 ゲッター作用を用いて排気を行い 超高真空を生成することのできる真空ポンプです。 加熱、昇華によって真空を得るゲッターポンプとは異なり、 真空部品の内側に形成した膜を加熱後に冷却することによって 水素などの気体分子を膜の表面・内部に吸着します。 一般にターボ分子ポンプなどと組合わせて使用します。 NEG（Non-Evaporable Getter）は、 ゲッター作用によって化学的に活性な固体表面に 気体分子を吸着する作用です。 ベーキング後の真空容器の内面から常時放出される 水素（H2）、一酸化炭素（CO）などの気体を吸着し、 超高真空を維持します。 コンパクト設計の最新型NEGは、 機能性を高めながら性能とコストの両面で最適化されており、 お客様の用途において 比較的容易に超高真空環境を作り出すことができます。 例えば、超高真空環境を必要とする 容器・機器・装置（分析装置や試料保管容器など）に応用できます。 当社はこのNEGの技術活かした 『NEGLAZE（ネグレーズ）』を開発致しました。
