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高精度XYステージ(大型) - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

高精度XYステージの製品一覧

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【ウェーハ検査向け】摩擦レス・高精度XYステージ V-P01

高速・高精度なウェーハ検査をV-P01が実現

半導体業界のウェーハ検査では、微細な欠陥を高精度に検出することが求められます。検査の精度は、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、ウェーハの大型化と高密度化が進む中、より高速かつ正確な位置決めが不可欠です。V-P01は、リニアモータ駆動により、高精度な位置決めと高速スキャンを実現し、ウェーハ検査の効率化に貢献します。 【活用シーン】 ・ウェーハの自動光学検査(AOI) ・ウェーハ表面の精密スキャニング ・微細パターンの位置決め 【導入の効果】 ・検査時間の短縮 ・検査精度の向上 ・歩留まりの改善

  • その他機械要素
  • 直交ロボット
  • エンコーダー
  • 高精度XYステージ

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