高純度用ガスフィルタ - メーカー・企業と製品の一覧

超小型・高純度用ガスフィルター『サンドイッチフィルターシリーズ』

設置スペースに制約ある環境下でも対応。0.0015μm・9LRVの高捕獲性能で、特殊ガスや液体・固体ソースの気化ラインにも適用。

当社の取り扱う、Mott社『GasShield Sandwich Filter Series』は、 設置スペースに制約ある環境下に適した耐食性に優れた高捕獲性能・低圧損フィルターです。 ガスフィルター業界トップクラスの 0.0015μm(1.5nm) 9LRVの高捕獲性能なほか、 特殊ガスを始め、液体・固体ソースの気化ラインにも適しています。 耐腐食性・耐熱性に優れた金属エレメントにより、高温460℃に対応しております。 また独自設計で、圧力損失を従来比25％低減。 性能を維持したまま、スループット（ガス流量）を向上させます。 ＼ SEMICON Japan 2025 に出展します！／ 詳しくは「カタログダウンロード」からPDFデータをご覧ください。 フィルターに関するご相談も受け付けておりますので、お気軽にお問い合わせください。