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高速ピエゾステージ - メーカー・企業と製品の一覧

高速ピエゾステージの製品一覧

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高速Tip/Tiltピエゾステージ S-331

動作角:±5 mrad (光学各10 mrad)、10 kHzの共振周波数により、ダイナミック&高分解能&高速動作

高速ビームステアリング向け2軸 Tip/Tiltプラットフォーム。 パラレルキネマティック設計と歪みゲージ位置センサにより、フィードバック制御を行い、高速かつ高精度な位置決めとダイナミクス動作実現します。 レーザービーム・画像安定化・衛星光通信など、高ダイナミクスが必須のアプリケーションに最適。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

  • その他産業用ロボット
  • 圧電デバイス
  • アクチュエーター

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