RHEEDユニット『PHD-30K-034』
30kV対応かつコンパクトな制御電源!1Pa台まで使用可能な差動排気設計
『PHD-30K-034』は、超真空下で加速収束された電子線を基板に照射し、 表面キャラクタリゼーションを行うための反射高速電子線回析システムです。 コンパクトサイズでICF34フランジマウントの電子銃は、その小ささから 取り付けやメンテナンスが容易。 また、標準的な回折像観察に加えて、オプション追加により高圧条件下での 測定またはサンプル面内スキャン機能を実現することができます。 【特長】 ■30kV対応かつコンパクトな制御電源 ■1Pa台まで使用可能な差動排気設計 ■2段差動排気(オプション)により100Pa台でのモニター可能 ■スキャンコイル(オプション)による電子線スキャニングで、 同一条件での多数回折が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:株式会社パスカル
- 価格:応相談