【製品別仕様】 ■FD-2/FD-2DC 最大流量 　　　　　　　 　：2.0L/min以上(@60Hz) / 2.0L/min以上 最大真空度 　　　　　　　 ：-50.0kPaG以下 最大圧力 　　　　　　　　 ：60.0kPaG 吸排気チューブ径(IN/OUT)：φ6.35mm(標準) or φ6mm 使用温度範囲　　　　　　 ：0~40°C ■FD-2HT 最大流量　　　　　　　 　：2.0L/min以上 最大真空度　　　　　　　 ：-50.0kPaG以下 最大圧力　　　　　　　　 ：60.0kPaG　　　 吸排気チューブ径(IN/OUT)：φ6.35mm(標準) or φ6mm 使用温度範囲　　　　　　 ：0~150°C　　 ■FD-5XP 最大流量　　　　　　　　 ：5.0L/min以上(60Hz) 最大真空度　　　　　　　 ：-50.0kPaG以下 最大圧力　　　　　　　　 ：65.0kPaG 吸排気チューブ径(IN/OUT)：φ6.35mm(1/4”) 使用温度範囲　　　　　　 ：0~40°C

【仕様】 ■使用流体：接ガス部を腐食させない気体、液体 ■最高使用圧力：1.0MPa ■耐圧：1.5MPa ■接続口径：2方Rc1/4（標準） ■ボディ材質 　・ブラス：ブラス（ニッケルメッキ） 　・ステンレス：SUS316 ■接ガス部使用材質 　・ブラス：ブラス、SUS316、PTFE、FKM（標準） 　・ステンレス：SUS316、PTFE、FKM（標準） ■使用流体温度 　・ブラス：0～60℃（FKM） 　・ステンレス：0～120℃（FKM） ■ツマミ回転数：約13回転（ダイヤル表示は20回転） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【その他の特長】 ■多彩な警告・診断機能 ■RoHS適合 ■フィールドでプログラム可能* ■再校正をしなくても様々なガス選択が可能* ＊マルチガス・マルチレンジTransformer MFCのみ対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【その他の特長】 ■DeviceNet、RS-485、アナログコントロール ■ディスプレイ搭載 ■自己診断機能内蔵 ■100％メタルシール、高純度仕様 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【その他の特長】 ■低コスト ■容易な据付 ■高速応答性 ■高い信頼性と実績 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様(一部)】 ■フルスケールレンジ：10sccm~5slm ■応答時間：1秒以下(0~100% ±2%以内Typical)SEMI E17-91 ■精度：フルスケールの±1%以下 ■直線性：フルスケールの±0.5%以下 ■再現性：フルスケールの±0.2%以下 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様】 ■使用流体：接ガス部を腐食させない気体、液体 ■最高使用圧力：1.0MPa ■耐圧：1.5MPa ■接続口径：2方Rc1/4（標準） ■ボディ材質 　・ブラス：ブラス（ニッケルメッキ） 　・ステンレス：SUS316 ■接ガス部使用材質 　・ブラス：ブラス、SUS316、PTFE、FKM（標準） 　・ステンレス：SUS316、PTFE、FKM（標準） ■使用流体温度 　・ブラス：0～60℃（FKM） 　・ステンレス：0～120℃（FKM） ■ツマミ回転数：約13回転 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。