ＩＢＳの製品・サービス一覧

『FMNV2シリーズ』は、無回転のニードル構造を採用した精密ニードル バルブです。 マルチダイヤル表示付でニードル回転数を常に表示するため、よりシビアな 開度（流量）調整が誰でも簡単におこなうことが可能となります。 パネルマウント取付にも対応し、取り付けも容易です。 【特長】 ■FMNV1のニードル機能はそのままに回転数をマルチダイヤル 　表示を付加した製品で誰でも簡単確実に流量管理が可能 ■マルチダイヤルはロックレバー付でワンタッチでロックが可能 ■パネルマウント取付にも対応し、取り付けも容易 ■FMNV1と同様に使用流体に合わせて豊富なニードルレンジ、 　 シール材が選定可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『Aera Transformer』は、CAD、PVD、拡散、エッチングなど様々な アプリケーションに適したデジタルマスフローコントローラです。 当製品が生み出す薄膜成長とエッチング特性は、優れた均質性とともに 高い再現性を誇ります。 優れた応答性、正確性、再現性によって、装置の生産性と生産歩留まりが 向上します。 【特長】 ■マルチガス・マルチレンジ ■高速応答性 ■100％メタルシール・高純度設計 ■DeviceNet、RS-485、アナログ制御対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『Aera FC-DR980』は、優れた汎用性を備え、多くのシステムに対応する デジタルマスフローコントローラです。 高品質の電子部品と耐久性に富む設計により、過酷な操作に耐え、1年以上 経過してもフルスケール流量の0.5％以下という優れた長期的ゼロドリフト 安定性を発揮します。 【特長】 ■アナログ、アナログ/デジタル、デジタルのモード選択可能 ■ピエゾ制御バルブ ■各種のアラーム/診断機能 ■使用ガスおよび流量レンジの選択可能 　※マルチガス・マルチレンジ仕様モデルにより対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『Aera PI-980』は、次世代の半導体製造プロセスに対する需要拡大を 予期して開発されたプレッシャーインセンシティブタイプのマスフロー コントローラです。 優れた流量安定性により、チャンバ間のプロセス再現性が向上し、 生産歩留まりを改善します。 また、実ガスによる精度検証済みで、マルチガス・マルチレンジにも 対応します。 【特長】 ■プレッシャーインセンシティブ（圧力の影響を受けにくい）制御が可能 ■高い計測精度と再現性 ■IGS方式対応 ■実ガスによる精度検証済み、マルチガス・マルチレンジにも対応 ■フィールドでのプログラムが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『Aera FC-R7700シリーズ』は、さまざまなアプリケーションにおいて フィールドで活躍するマスフローコントローラです。 高精度の流量制御に実力を発揮するとともに、ゴムシールの採用により 経済性を向上しています。 また、高速応答性で、設定値入力後2秒未満で流量が安定します。 【特長】 ■エラストマー(ゴム)シール ■VCR、VCO、Swagelok準拠の接続部 ■10sccm〜200slmのフルスケール流量レンジ ■ノーマリ・クローズ型またはノーマリ・オープン型ソレノイド制御バルブ ■1.0x10-7Pa・m3/sec(He)以下の外部リークレート ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。　

『Aera FC-R7800シリーズ』は、高精度の流量制御を行うだけでなく、 メタルシールによる優れた高い気密性を備えたシステムです。 主要なガス制御アプリケーションに適しています。 ⾼感度、⾼速応答性の⼩型センサーを搭載するなど技術の進歩により、 優れた制御性を発揮します。 【特長】 ■耐腐食設計 ■メタルシール採用 ■VCR、Swagelok互換の接続部 ■10sccm～200slmのフルスケール流量レンジ ■ノーマリ・クローズ型またはノーマリ・オープン型ソレノイド制御バルブ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『FMNV1シリーズ』は、無回転のニードル構造を採用したマイクロニードル バルブです。 スムーズなニードル動作により再現性に優れ、回転数に対しリニアな 流量特性が得られます。 また、ニードル回転数も多く、豊富なニードルレンジ／シール材 ラインアップで各種流体の流量調整をはじめ、微少流量やシビアな流量調整が 必要な用途に適しています。 【特長】 ■ニードル部を無回転構造にする事により、 　スムーズに精密な流量制御が可能（約13回転） ■豊富なニードルラインアップの中から、 　使用条件にあったニードルの選定が可能 ■2種の本体形状の中から、配管条件にあった形状を選択可能 ■豊富なシール材ラインアップ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。