オプトシリウスの製品ラインアップ

オプトシリウスがご提案する膜厚測定システムは、オーシャンオプティクス社の分光器、光源、反射プローブ等に、協業メーカーの分光干渉膜厚測定ソフトウェアを組み合わせたオリジナルシステムです。

AQM社のH-SiOxは粉体・溶液2種類を提供可能なネガ型のレジストです。 Dow XR-154やFOXと同等の性能を提供可能です。 粉体・溶液はそれぞれに特徴がございます。 【粉体】 長期間の保管が可能：1年間保存可能なので長期間において少量ずつのご使用が可能です。 即納対応：必要な時にすぐに手に入ります。 常時同じ粘度での使用が可能：使用前に混合するので増粘しません。 濃度調整可能：アプリケーションに合わせた幅広い範囲の膜厚を作成可能です。 最高レベルの線幅：7nmの線幅を実現 【液体】 少量から購入可能：必要量に応じて対応します。 短納期：受注後1カ月以内での納品が可能です。 受注生産：より長いシェルライフでのお届けが可能です。 最高レベルの線幅：7nmの線幅を実現 お問い合わせは弊社担当【北野】まで。