試験・分析・測定

JFE 商事エレクトロニクス株式会社

設立2004年10月1日
資本金100000万
従業員数94名
住所東京都千代田区大手町2-2-1 新大手町ビル
電話03-5203-5648
最終更新日：
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表面粒子測定器 QIII / Pentagon 表面粒子測定器 QIII / Pentagon
ウェーハ形状ワイヤレスセンサ / CyberOptics ウェーハ形状ワイヤレスセンサ / CyberOptics
表面粒子測定器

表面粒子測定器 QIII / Pentagon

半導体製造装置のウェットクリーニング後、 チャンバー表面が本当にクリーンになったかどうかの確認に最適な表面粒子測定器です。 従来の表面粒子測定法と比較し、QIII Maxを使用する事で大幅な時間短縮・コスト削減を行う事が可能です。