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回転させたウエハ端面(エッジ)をラインセンサで撮影し、数ミクロンオーダーの微細な欠陥を検出するシステムです。１ＧＢを超えるような巨大な画像にも対応します。
弊社では、不安定さ・不確実性のある部分は排除・補正した情報を用いること、言い換えれば照合に必要な情報のみを選択的に取り出すことにより、確実で安定的なアライメント機能を提供いたします。
本技術は、Ｎ次元ベクトルの点近傍を、Ｎ次元空間上の点から３次元空間上への言わば形状変換写像を用いることにより、他の点近傍との分布状況の違いが分かるように表現することで、特徴ベクトルを構成するパラメータを視覚的に評価する機能を提供いたします。
低レベルの処理関数ではなく、上記各目的別に用意された機能モジュール群の提供により、実用レベルのシステムが短期間に構築可能です。特に、学習型の情報登録や、リアルタイムシミュレータによるパラメータ設定の簡便さが、開発期間の短縮、保守性の向上に貢献いたします。
人間の高度な認識に関わり、これまでシステム化が困難だったテーマにおける問題解決をお手伝いしたいと思います。
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