【特徴】 ■高速３バンド欠陥検出フィルタ ■回転蛇行補正 ■検査レシピ設定用リアルタイムシミュレータ ■Ｄヴューア 【製品仕様】 ■対象サイズ： 　200～300ｍｍウエハ端面(エッジ）および、端面近傍表裏面（ニアエッジ） ■分解能：3μ～10μ／画素 ■解像度： 　カラー：(2300～7500)×300000×3[画素] 　白黒：　( 320～1024)×300000[画素] ■対象欠陥： 　傷、欠け、クラック、剥離、汚れ、異物、凹凸、変色　etc. ※詳細はお問い合わせください。

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【アライメントについて】 アライメント（位置決め）は基本的な画像処理技術の１つですが、光学撮影系に起因する画質や 撮影対象の性質により、難しくなる場合があります。 光学撮影系の特性は、テストチャートの撮影により測定し、歪やシェーディングがあれば画像処理で 補正することが可能です。 ただし、ソフトウェア的な補正を行うか光学系を見直すかについては、以降の方向性を決める重要な 意思決定になりますので、慎重な判断が必要です。 さて、一般的にアライメントを難しくするのは、撮影対象の不安定性だと思われます。 被写体自体に非線形な、不確定性の変動がある場合です。 弊社では、不安定さ・不確実性のある部分は排除・補正した情報を用いること、言い換えれば照合に 必要な情報のみを選択的に取り出すことにより、確実で安定的なアライメント機能を提供いたします。 ※その他詳細についてはお問い合わせください。

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【用途】 多種類、あいまい、膨大な情報やデータにより、経験に基づいた高度な判断や処理が求められ、 かつ、アルゴリズム化が困難なテーマをシステム化する際には、是非、本技術（製品名『Dimension Agent』) の適用をご検討下さい。 学習により構造化された多次元のデータは、ニューラルネットの様にブラックボックス化することなく 可視化(視覚化）される為、優れたヒューマンインタフェースを兼ね備えた実用化技術として、皆様のお役に立ちたいと考えております。 ※その他詳細についてはお問い合わせください。

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画像による計測/検査/監視/照合/認識システム等を容易に開発可能とするツールです。ライブラリ／機能シミュレータ／サンプルアプリケーションから構成されます。

• 開発支援ツール（ICE・エミュレータ・デバッガ等）

知的処理システムおよび画像処理システム開発の支援業務です。要件定義/基本設計/詳細設計/プログラム開発/試験/評価/メンテナンス等の業務支援。

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