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ビュルケルトジャパン株式会社

従業員数3000名
住所東京都文京区水道1-12-15
電話03-5804-5020
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  • 公式サイト
最終更新日:2020/09/18
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MFC(マスフローコントローラ)

MFC(マスフローコントローラ)

■ 最小流量:20cc/min ■ 最大流量:2,500L/min ■ 最小必要差圧:10KPa ■ 最大動作差圧:1.0MPa 微少流量から大流量まで、低差圧から高差圧まで、産業用マスフローとして幅広いラインナップを誇ります。 またセットポイント変更時の応答速度として、流量が安定するまでの所要時間は、最短0.3秒以内と、目的の流量まですばやくコントロールします。 その理由は、 ● 電磁弁メーカーとして、豊富な比例電磁弁のラインナップから、ご用途に応じた製品をチョイスします。 ● センサが直接流流量計測方式であるため、伝熱を待つ必要がありません。 ● 高性能バルブと高性能センサを確実に制御する独自アルゴリズムの制御システムを構築。 センサメーカーではなくバルブメーカーが設計した、今までと全く違うコンセプトで設計された【MFC(マスフローコントローラ)】をぜひ一度お手にしてください。

コリオリMFC(液体マスフローコントローラ)

ビュルケルトのコリオリMFCは、10~280g/minの液体流量を計測・コントロールします。流量計としても高い精度を備えています

ビュルケルトのコリオリMFC(液体マスフローコントローラ)は、10~280g/minの液体流量を計測・コントロールします。 市場にある液体用マスフローコントローラと比べ、より大きな流量をコントロールいただくことが可能です。 特徴 高精度で安定性に優れた流量測定・制御機器 Type 8756は、液体の微量流量測定や高精度制御を求められるアプリケーションに最適な質量流量コントローラー/流量計です。コリオリ式原理を利用したセンサー技術により、流体の種類に依存せず、圧力や温度の変動の影響を受けることなく、正確な測定が可能です。 特長 広い測定範囲と高精度: ±0.2%の読値精度 長期安定性: 零点調整不要で安定したパフォーマンスを提供 多機能測定: 流量、密度、温度を同時に測定 高い耐腐食性: 接液部材質にステンレススチール316LまたはAlloy C22を採用 モジュール構造: プロポーショナルバルブやマイクロギアポンプを統合したモデルを選択可能

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1.0MPa高差圧、10KPa低差圧で使用可能なマスフロー

ワイドレンジの使用圧力に対応したマスフローコントローラ(MFC)。0.3秒以内の高速応答が可能です。大流量も制御可能!

産業用マスフローコントローラはビュルケルト! 各種産業毎に異なる、多様な仕様へ向けたマスフロー、他社仕様とは一線を画した各種スペックを誇るマスフローです。 圧力レンジ以外にも 【ビュルケルトの産業用マスフローは】 ●レンジアビリティ → 1:100の高精度 ●大流量 → 2500Nl/min (窒素換算) を一台で制御可能 ●暖気運転 → 1分でOK ●タイトシャット可能 → 電磁弁の費用とスペースを削減 【さらにIoT世代のマスフローとして】 ●各種通信規格に対応 EtherCAT EtherNet/IP Modbus/TCP PROFINET

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0.3秒で追従する高速応答MFC(マスフローコントローラ)

0.3秒以内の高速応答!設定流量の変更が多い装置に!圧力レンジも広範囲に対応(0.01~1.0MPa)

産業用マスフローコントローラはビュルケルト! 半導体業界向けのマスフローとは異なる、多様な仕様を必要とする産業へ向けた、他社とは一線を画した各種スペックを誇るマスフローです。 応答速度以外にも 【ビュルケルトの産業用マスフローは】 ●高圧対応 → ~1.0 MPa ●最低必要差圧 → 10kPaでOK ●大流量 → 2500Nl/min (窒素換算) を一台で制御可能 ●暖気運転 → 1分でOK ●タイトシャット可能 → 電磁弁の費用とスペースを削減 【さらにIoT世代のマスフローとして】 ●各種通信規格に対応 EtherCAT EtherNet/IP Modbus/TCP PROFINET

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低コスト化も実現可能!IoT時代のマスフローコントローラ

小~大流量を1台で制御!微小~高差圧(10kPa~1.0MPa)にも対応!低コスト化も実現可能なドイツ発IoT時代のMFC

Industry4.0で注目されるドイツ製造業。ドイツの老舗流体制御機器メーカーのビュルケルトから、IoT時代に対応したマスフローコントローラのご提案です! 【1台で何役もこなします!】 ●小流量から大流量まで(例えば20~1500Nl/min(N2))を一台で制御可能 ●インライン式センサ搭載により10kPaの低差圧でもスムーズな制御を実現 ●1.0 MPa(10bar)の高差圧でもスムーズな制御 ●樹脂シールとシャットオフ機能により完全な締め切りを実現 ●高速で指示値(セットポイント)に追従し安定(0.3~0.5秒以内) ●最新機種では最大流量2500L/minクラスも! 【簡単導入&直ぐにご使用可能です!】 ●校正済みで出荷されるため、設定不要&調整不要で直ぐに使用可能 ●専用電源は不要(DC24Vにて起動)で簡単導入 【ビュルケルトならでは&IoT世代】 ●アナログ入出力信号だけではなく、OpenCAN、フィールドバス、RS485等の通信方式にも柔軟に対応 ●保護等級IP65取得機種も準備 ●メンテナンス性や省スペース性にも特化したご提案も可能です!

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CANopenに対応したマスフローコントローラType874X

従来機種の高速応答性能、高レンジアビリティに加えてCANopenに対応!

●CANOpenに対応したMFC ●高速応答(最速0.3秒以内、一部機種で0.5秒以内) ●10[ml/min]~1500[l/min]の幅広い流量レンジに対応する豊富なラインナップ ●保護等級IP65

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マスフローコントローラ/マスフローメータ

電源ユニット不要、取り付け後すぐ制御・流量測定を開始できます

高速応答(最速0.3秒以内)で高精度の流量センサと、豊富なラインナップを取り揃えた流量制御弁(比例電磁弁)を組み合わせ、高性能を実現したマスフローコントローラ/マスフローメータです。(保護等級 IP 65 取得機種有り)

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大流量2,500L、高圧1.0MPaのマスフローコントローラ

装置や工程のスループット増加に貢献する、大流量、高圧マスフローコントローラ(MFC)

大流量、高圧仕様のマスフローコントローラはビュルケルト! 業界内にあるマスフローコントローラはある程度、仕様が固まっているものが多いなか、お客様においては、「もっと流量を出したい」、「減圧せずに流したい」、などのさまざまご要望があることを、近年の活動で知り得ました。 【ビュルケルトの産業用マスフローは】 ●大流量  → ~2500Nl/min (窒素換算) を一台で制御可能 ●高圧仕様 → ~1.0MPaまで対応 また ●低差圧仕様 → 5KPaから対応 ●タイトシャット可能 → 別置き電磁弁の費用とスペースを削減 ●応答速度      → 300msec~ ●暖機運転      → 1min 【さらにIoT世代のマスフローとして】 ●各種通信規格に対応 EtherCAT、EtherNet/IP、 Modbus/TCP、 PROFINETなど各種通信に対応

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コリオリ式マスフローコントローラType8756 高精度計測原理

ビュルケルトのコリオリ式計測原理の液体MFC(マスフローコントローラ)は10~280g/minの液体流量を計測・コントロール可能

ビュルケルトのコリオリMFC(液体マスフローコントローラ)は、10~280g/minの液体流量を計測・コントロールします。 市場にある液体用マスフローコントローラと比べ、より大きな流量をコントロールいただくことが可能です。

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液体用フローコントローラ 最大600ml/minの腐食性流体対応

ワイドレンジの液体用フローコントローラ/フローメータならビュルケルト

ビュルケルトの液体用フローコントローラは、 「次機種ではもっと流量を出したい」 「水以外の腐食性がある流体も流せるフローコントローラが欲しい」 などのご要望に対応可能。 過酸化水素水のアプリケーションで培った経験を元に作られた ビュルケルト独自の液体フローコントローラです。 【ビュルケルトの液体用フローコントローラの特長】 ■大流量:~600ml/min (水換算) を1台で制御可能 ■流体仕様:アンモニアやメタノール、過酸化水素水といった腐食性流体にも対応 ■圧力仕様:~0.6MPaまで対応 ■応答速度:~500msec ■タイトシャット可能:別置き電磁弁の費用とスペースを削減 ■逆止弁の別途設置が不要:内部の調節弁に逆止機能あり 【デジタル通信対応】 EtherNet/IP、EtherCAT、Modbus/TCP、 PROFINETなど各種通信に対応 ※詳細はお問い合わせいただくか、PDFダウンロードからご覧ください。

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