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座標を入力することにより複数点へ正確に移動します。 ボールネジ送り精度補正装置を取り付けているために位置決め誤差が移動距離に関係なく±3μを確保する。 特許出願済み。
ボールネジ送り精度補正装置を使用した2次元位置決め装置。送り精度±5μ。 移動距離が長くなっても累積誤差はありません。
長尺物でもミクロン単位の位置決め。 短時間の調整で高精度な位置決め。
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