【特徴と機能】 測定最小粒子サイズ： 5.0μｍ 計数4チャンネル ：5.0/10.0/50.0/100.0μｍ サンプリング流量： 1CFM（28.3ℓ/分） 簡単にインテグレーション： ワイヤレス接続のオプションを含め、既存の製造プロセスに簡単に統合できるように設計されています。 リアルタイムのデーター収集と解析： 環境条件に関するフィードバックを即座に提供でき、迅速な是正措置が可能になります。 自己診断機能： レーザー電源、レーザー電流、レーザーパワー、Photo detector電源、バックグラウンド電圧、Photo detectorの自己診断機能があり、高信頼性と高精度が保証されています。

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1）32ポートユニバーサルマニフォールドシステムの構成機器： 32Portマニフォールド ＋ 流量1.0CFM（28.3L/分）のProbe ＋ SOLAIR1100（0.1µm）かSOLAIR3100（0.3µm）＋ システムコントローラ ＋ バキュームブロワ ＋ モニタリングソフトウエア（LMS Express Real Time） 2）大規模クリーンルーム用総合リアルタイム モニタリングシステム： リモートパーティクルカウンタ ＋ 温湿度計 ＋ 差圧計 ＋ 風速計＋コントロールキャビネット ＋ モニタリングソフトウエア（LMS Pro）

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ApexZ3 　：測定パーティクルサイズ　0.3μm~10.0μm 　：測定計数チャンネル　0.3/0.5/1.0/3.0/5.0/10.0μm(6ch) 　：サンプリング流量　28.3ℓ/分 ApexZ50 　：測定パーティクルサイズ　0.5μm~10.0μm 　：測定計数チャンネル　0.5/0.7/1.0/3.0/5.0/10.0μm(6ch) 　：サンプリング流量　100ℓ/分

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測定粒子サイズは、 Solair 1100LD：0.1～1.0(5.0)μm Solair 3100 　：0.3～25.0μm Solair 5100　 ：0.5～25.0μm Solair Boulder : 5.0～100.0μm Solair 3200 : 0.3～2.5.0μm Solair 5200 : 0.5～25.0μm Solair 3350 : 0.3～25.0μm Solair 5350 : 0.5～25.0μm ※詳しくはPDFをダウンロードいただくか、お気軽にお問合せください。

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測定粒子サイズは、 　Solair 1100LD：0.1～1.0(5.0)μm 　Solair 3100 　：0.3～25.0μm Solair 5100　 ：0.5～25.0μm Solair Boulder : 5.0～100.0μm Solair 3200 : 0.3～2.5.0μm Solair 5200 : 0.5～25.0μm Solair 3350 : 0.3～25.0μm Solair 5350 : 0.5～25.0μm

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測定粒子サイズは、 Handheld 2016：0.2μm～2.0μm Handheld 3016：0.3μm～25.0μm Handheld 5016：0.5μm～25.0μm Handheld 3016-IAQ：0.2μm～2.0μm サンプル流量は、0.1CFM（2.83ℓ/分） ディスプレイ表示言語は、日本語、英語、中国語、韓国語の四ヶ国語（他にヨーロッパの５言語もあり。） リムーバブルで充電式のリチウムイオンバッテリー装備 ※詳しくはPDFｗダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

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測定粒子サイズは、 Handheld 2016：0.2μm～2.0μm Handheld 3016：0.3μm～25.0μm Handheld 5016：0.5μm～25.0μm Handheld 3016-IAQ：0.2μm～2.0μm サンプル流量は、0.1CFM（2.83ℓ/分） ディスプレイ表示言語は、日本語、英語、中国語、韓国語の四ヶ国語（他にヨーロッパの５言語もあり。） リムーバブルで充電式のリチウムイオンバッテリー装備

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豊富な通信機能で既存のモニタリング/管理システムにも統合できる、リアルタイムのリモートパーティクルカウンタ。 リアルタイムで測定できるリモートパーティクルカウンタ、測定最少粒子径は0.1μから各レンジのモデル、また自己診断機能を備えた信頼性の高いモデル、サンプリング流量は0.1CFM（2.83ℓ/分）と1.0 CFM（28.3ℓ/分）、真空ポンプ内蔵のモデル等を取り揃えております。

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測定粒子サイズ（ナノ）：50～200nm 標準計数チャンネル(サイズ）：50nm/100nm/150nm/200nm （4ch） サンプリング流量：100 mℓ/分 Sample Volume：5.0 mℓ/分 Zero Count Level（偽計数）：≦20 count/ℓ レ-ザー光源：固体レーザー キャリブレーション： NISTトレーサブル 通信モード：イーサーネット、Serial RS-485、4-20mA 最大粒子濃度：10,000カウント/mℓ@10%コインシデンスロス 筐体 ：316Lステンレススチール 操作環境：50°F～104°F （10℃～40℃）、20%～95% 　 無結露 ストレージ環境：14°F～122°F （-10℃～50℃）、最大98% 　 無結露 サンプル温度 ：50～122°F（10 – 50℃） サンプル圧：20～72 PSI（138～496 kPa） 接液部材質：クォーツ、PFA、Kalrez、PTFE 通信プロトコル：AMODBUS TCP、MODBUS Serial、4-20mA

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測定粒子サイズは、 　LS-20は1.0～50.0μm、 　LS60は0.1～0.5μm/0.2～2.0μm/0.3～3.0μm/0.5～100.0μm 標準計数チャンネル（8ch）は、 　LS-20は、1.0/2.0/3.0/5.0/10.0/15.0/25.0/50.0μm 　LS-60は、0.1/0.15/0.2/0.25/0.3/0.35/0.4/0.5μmと 　　　　 　 0.2/0.3/0.4/0.5/0.7/1.0/1.3/2.0μmと 　　　　　 0.3/0.5/0.7/1.0/1.3/2.0/2.5/3.0μmと 　　　　　 0.5/1.0/2.0/5.0/10.0/25.0/50.0/100.0μm サンプリング流量は、 　LS-20は、20 mℓ/分 　LS-60は、 60 mℓ/分 検出方式は、 　LS-20は、光遮蔽方式 　LS-60は、光散乱方式

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測定粒子サイズは、 　LPCの４モデルはそれぞれ、 　0.1～0.5μm、0.2～2.0μm、0.3～3.0μm、0.5～100.0μm 　LPC LEの２モデルはそれぞれ、 　1～50μm、1～200μm サイズが異なる粒径を同時計数できる標準チャンネルは、 　Modbus出力のLPCの４モデルは、 　0.1/0.2/0.3/0.5…μmという様な4チャンネル 　4-20mA出力のLPCの４モデルは、 　0.1/0.2…μmという様な2チャンネル 　LPC LEの２モデルは、 　1.0/3.0/5.0/10/15/20/25/50…μmという様な8チャンネル

• パーティクルカウンター

アイコン設定の分かり易いタッチスクリーンから、サンプリング容量は８種登録でき、使用者名は５０人、測定場所名は４００ヶ所を登録できます。また、連続サンプリングモード、定期サンプリングモード、ガスサンプリングモードがすべて選択可能です。 また、オプション品として、ガスサンプリングアダプタとリモートサンプリングアダプタが取り揃えられています。

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ScanAir Pro Systemは、（１）タッチスクリーンが付いたスキャニングプローブユニット、（２）ポータブルパーティクルカウンターのSolair、（３）デュアルポートのDilutor（希釈器）で構成されています。またフィルターの上流側を計測する為には(オプションの)粒子発生器が必要です。

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• プローブ
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