【仕様】 　■ イオンビームエネルギー:0–3keV 　■ イオン電流密度:>300μA/cm2 　■ 高スパッタリングレート:200Å/min 　■ ビーム径:2.5mm 　■ リモートコントロール機能:ビーム電圧のオンオフ 　■ イオンビームスキャニング機能: 　■ DC偏向機能: 　■ 自動出ガス機能: 　■ 取付フランジ:ICF70 　■ 許容加熱温度:250℃

• プラズマ表面処理装置
• 真空機器
• スパッタリング装置

【ラインアップ】 ■ICF34直線回転導入機 　・規格品：MD16-[0100/0200/0300/0400]-0030 　・特注品：MD16-XXXX-YYYY ■ICF34高精度直線回転マニピュレーター 　・規格品：MD16-ADCF16TS-DRVMD-[0100/0150/0200]-0030 　・特注品：MD16-ADCF16TS-DRVMD-XXXX-YYYY ■ICF70チューブサポート付ゼロリトラクト直線回転導入機 　・規格品：MD40(Y0)-0080-0001-TSMDH 　・特注品：MD40(Y0)-XXXX-YYYY-TSMDH ■ICF70直線回転導入機 　・規格品：MD40-[0100/0200/0300/0400]-0030 　・特注品：MD40-XXXX-YYYY　など ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• 真空機器
• その他電子部品
• その他搬送機械

【仕様】 ■ストローク（XXXX） 　・500 　・750 　・1,000 　・1,250mm 　・特注⾧（最大：1250mm） ■リトラクト⾧（YYYY） 　・標準：30mm 　・特注⾧(10-200mm ) ■駆動軸径（内側軸/外側軸） 　・φ8g6 (先端部：M4ネジ) 　・φ12h6 ■直進力：70N ■回転トルク：5Nm ■取付フランジサイズ：ICF70 ■べークアウト温度：200℃ ■圧力範囲：1-11mbar-1,000mbar ■構造材料：フルUHV適合 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• 真空機器
• 蒸着装置
• 搬送・ハンドリングロボット

【ラインアップ】 ■シングルシャフトウォブルスティック『WM40』 ■高トルクシングルシャフトウォブルスティック『WM40HT』 ■ワイドアングルシングルシャフトウォブルスティック『WMWA40』 ■デュアルシャフトウォブルスティック『WMG40』 ■高精度デュアルシャフトウォブルスティック『WMG40（FC）』 ■ワイドアングルデュアルシャフトウォブルスティック『WMGWA40』 ■ワイドアングル高精度デュアルシャフトウォブルスティック『WMGWA40（FC）』 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• 真空機器
• 蒸着装置
• プラズマ表面処理装置

【アプリケーション】 ■紫外線光電子分光法（UPS） ■X線光電子分光法（XPS） ■飛行時間型スペクトロメトリー（TOF） ■質量分析（MS） ■スポットプロファイル解析LEED（SPA-LEED） ■中性粒子分析（NPA） ■化学分析用電子分光法（ESCA） ■宇宙開発ミッション ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• 電子管
• その他電子部品

【ラインアップ】 ■VSN40S UHVスーツケース ■VSN40S UHV-Cryoスーツケース ■VSN40S ベースモジュールUHVスーツケースS ■VSN40M ミニUHVスーツケースMD ■VSN40M ベースモジュールミニUHVスーツケースMD ■NEXTorr(R)ポンプ ■NEXTorr(R)ポンプ用バッテリー駆動イオンポンプコントローラー ■NEXTorr(R)ポンプ用NEG起動コントローラー ■LSC1真空・温度コントロールユニット ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• 真空機器
• その他搬送機械

【仕様】 ■電源：100W (24V/4.2A/1000℃) ■最高温度：1,000℃ ■熱電対：タイプK（クロメル/アルメル） ■構造材料：フルUHV適合 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他ヒータ
• その他電子部品

【仕様】 ■熱交換器：OFHCコア付アルミ冷却ブロック ■真空排気時間：約1E-8mbarの圧力まで約30分(VSCT40使用時) ■冷却温度（コールドトラップ）：80K ■加熱コイル：内蔵抵抗ヒーター ■温度センサー：Pt100 ■電流導入端子：6ピンミニチュア導入端子(ICF34) ■取付フランジ：ICF70 ■構造材料：フルUHV適合　など ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• 圧力制御
• 真空ポンプ

【ラインアップ】 ■チューニングフォーク（TF）『TFW-1165』 ■チューニングフォーク（TF）『TFW-1383』 ■チューニングフォーク（TF）『3TFW-1533/TFW-1533』 ■ニードルセンサー（LER長辺振動水晶振動子）『3EXW-1011/3EXW-1168』 ■ニードルセンサー（LER長辺振動水晶振動子）『3EXW-1073/EXW-1073』 ■ダブルエンド・チューニングフォーク（DETFフォースセンサー）『FSW-2000』 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• 発振子
• その他電子部品