テクの製品・サービス一覧

EUROVAC社(スウェーデン国)は、30年以上前に設立され、ミュンヘンのパーキンエルマー社PHI部門出身の物理学者たちによって運営されています。実用的、技術的、基礎的な研究課題の解決に向け、お客様をサポートする体制を整えています。1998年にEUROVAC社は、バリアン表面科学部門(米国/パロアルト)を買収し、イオン銃、電子銃、LEED、RHEED、CMAの製造をスウェーデンのストックホルムに移管し、製品、スペアパーツ、サービスサポート等を提供する製造メーカーとして信頼性の高い非常に優れた機器を低価格でご提供しております。 【特⾧】 　■ 高電流密度イオンビーム：サンプル表面のスパッタ洗浄及び薄膜構造の迅速で正確な深さプロファイリングに最適です。 　■ スイッチャブルデュアルフィラメント：真空サイクル中でフィラメントがバーンアウトした場合、作業の進行を妨げることなく継続的な操作を可能にする切換式デュアルフィラメント構造になっています。

• プラズマ表面処理装置
• 真空機器
• スパッタリング装置

『MD16／MD40／MDG40』は、真空中の試料や機器に大気側から 直線運動と回転運動を伝達するトランスファーアームとして使用できる 磁気駆動の直線回転導入機です。 特定の直線位置に設定できる調整可能なストップリングと アクチュエーターをロックするための止めネジが搭載されています。 【特長】 ■シングルシャフト直線回転導入機 　・ロードロックからメインチャンバーへのサンプル移送に好適 　・サンプルキャリア又はサンプルストレージスタックの移送に役立つ 　・ポートアライナーと六角レンチアダプターを使ってネジを絞め可能 　・特定の位置でサンプルロックメカニズムを固定可能 ■デュアルシャフト直線回転導入機 　・微調整可能な磁気カップリングのファインアジャスターで開閉を 　　正確に制御 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• 真空機器
• その他電子部品
• その他搬送機械

『RM40』は、超高真空用途向けのシンプルなオールメタルシールの 直線回転サンプル導入機です。 主に、UHVチャンバー間でのサンプル輸送に好適。 空気側と真空側にある希土類磁石のセットは、ハンドルから内側軸への 強固な結合を確実にするために必要な力を発揮します。 【ラインアップ】 ■RM40-0500-0030 ■RM40-0750-0030 ■RM40-1000-0030 ■RM40-1250-0030 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• 真空機器
• 蒸着装置
• 搬送・ハンドリングロボット

Ferrovac社製の『ウォブルスティック』は、超高真空内でのデリケートで 精密な操作のために特にデザインされており、シャフトの動きが大気圧と 超高真空圧差の影響を受けないので、滑らかに制御が可能です。 ハンドルを放しても、シャフトは同じ位置にとどまります。 UHV-SPMでのチップ及びカンチレバー交換、サンプル搬送、 更にデリケートな取扱いを要求される作業に好適です。 【主な用途】 ■UHV-SPMでのチップ及びカンチレバー交換 ■サンプル搬送 ■デリケートな取扱いを要求される作業など ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• 真空機器
• 蒸着装置
• プラズマ表面処理装置

『CEMシリーズKBL』は、コンパクトで堅牢性に優れ取り付けが容易な Dr. Sjuts Optotechnik GmbH社製チャンネルトロンです。 完全にガラスで構成されたCEMとは対照的に、 焼結前にCNC制御フライス盤又は旋盤で処理が施されたセラミック材料 から製造されています。 地球物理学やプラズマ物理学における高温超伝導材料の探索等、 数多くの実験で検出器として多くの研究室で採用実績があります。 【構造】 ■セラミック材料の支持体 ■特別に調合されたケイ酸鉛ガラス（セラミック支持体の内側） ■CEMの両端に金または銀のデポジットによるメタライゼーション ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• 電子管
• その他電子部品

Ferrovac社製の『UHVスーツケース』は、様々な構成に対応しており サンプル表面を清浄に保持しながら超高真空及び極低温環境下での保管や 搬送、装置間の移送等が可能なモジュール式ポータブルシステムです。 NEG（非蒸発型）ゲッターポンプと小型イオンポンプを融合させた 超小型高性能UHV用コンビネーションポンプ「NEXTorr(R)ポンプ」を 採用しております。ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■サンプル表面を清浄に保持 ■超高真空及び極低温環境下での保管・搬送、装置間の移送等が可能 ■コンパクトで軽量 ■「SAES(TM)NEXTorr(R)ポンプ」を採用 ■電力供給を停止しても超高真空状態を維持し、サンプル搬送・移送が可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• 真空機器
• その他搬送機械

『HSOMPBN50』は、電流導入端子を備えたフランジアセンブリを含む 完全に構成された加熱ステージに実装することができるPBNヒーターです。 BOOMERAXマニピュレータにも使用されており、 市販の様々なXYZマニピュレータに容易に適合が可能です。 【特長】 ■完全に構成された加熱ステージに実装可能 ■市販の様々なXYZマニピュレータに容易に適合可能 ■試料のアニーリングのための信頼性の高いソリューションを提供 ■K型熱電対がレシーバーに搭載 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他ヒータ
• その他電子部品

『CTH40(WT)』は、より迅速で効率的な作業を実現するヒーターコイル 及び温度センサーが搭載されたLN2フローUHVブースターです。 LN2フローバージョンのコールドトラップでターボ分子ポンプと 組み合わせてUHVシステムのロードロック又は小さな搬送用チャンバー等 に組み込んでクライオポンプのように使うことができます。 【特長】 ■サンプル挿入時の待ち時間を短縮 ■排気時間が大幅に短縮され、付加的なベークアウトが不要 ■フローバージョンは、加圧液体窒素デュワーまたは熱交換器と 　窒素ガスを用いた冷却装置に取付可能 ■内蔵のPT100センサーを介して温度を常時監視可能 ■VSCT40コンパクトドッキングチャンバーに組み込んで使用可能 　 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• 圧力制御
• 真空ポンプ