【その他の掲載製品】 ■熱電対（T/C） ■白金測温抵抗体（R/B） ■各種部品 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【用途】 ■半導体関連 ・フープ材の連続キュア：ステンレスの耐摩耗性の特長を生かし、 　均熱で長時間連続キュアできる ・ウェハの直接加熱：均熱精度が安定しているブロックにエアー穴を設けて、 　ウェハを吸着しながら加熱できる ・エージング用：長時間安定した加熱が必要なエージングテストは 　熱安定したブロックときめ細かい制御が必要 ■液晶関連 ・ガラス基板の加熱：表面加工精度が優れているので、1000mm×1000mmまでの 　ガラス基板が加熱可能（液晶基板も可） ■シール関連 ・袋シール加熱：袋形のシールにとって重要なのは全てのシールの密着力が 　均等であること、均熱シールであれば簡単に行える ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様】 ■最高使用温度：500℃ ■プレート材質：SUS304(SUS310、316対応可) ■加熱方式：特殊巻きカートリッジヒーター ■制御方式：SSR PID制御 ■熱板寸法：200×280 ■表面温度：500±1.5℃ ■電源電圧：単相 200V 20A ■設備寸法：W350×L300×H180 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様（抜粋）】 ■均熱状態：200℃±1.5℃ ■均熱スペース：364mm×257mm（385×280） ■電源：200V 単相 ■ヒータ：Φ10mm特殊巻きカートリッジヒータ ■ヒータブロック制御：1ゾーン制御　SSR駆動 ■熱電対：Kタイプ ※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様（抜粋）】 ■均熱状態：500℃±1.5℃ ■均熱スペース：257mm×182mm（280×200） ■電源：200V　単相 ■ヒータ：Φ10mm特殊巻きカートリッジヒータ ■ヒータブロック制御：1ゾーン制御　SSR駆動 ■熱電対：Kタイプ ※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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