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※ WLI:White Light Interferometer [低コヒーレント光干渉による断層画像化法] 千葉大学 椎名研究室との共同開発 【透光性層構造の計測】 ■計測深度:最大14mm ■分解能:深さ方向15μm ■サンプリング周波数:15Hz ■使用波長:1310nm(標準)850nm ■光源:SLD □その他詳細については活用事例集をご覧ください
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