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Levitronix Japan株式会社

設立2010年7月
資本金1000万
従業員数14名
住所東京都台東区浅草橋4-16-4 ウイングエイト 5F
電話03-5823-4193
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  • 公式サイト
最終更新日:2026/07/13
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マイクロエレクトロニクス

マイクロエレクトロニクス

マイクロエレクトロニクスのデバイス構造の複雑化、微細化が進むにつれ、薬液を使用するプロセスへの要求はより厳しくなってきます。 半導体、太陽光発電、LEDの様々な分野の異なるプロセスをカバーするために、様々な異なる材料が必要です。繊細な材料を高清浄度で安全かつ高信頼性で供給する事は極めて重要です。

磁気浮上型インテグレーテッドポンプ『BPS-i30』

Compact & Resonable for Highend Process !

モータ・コントローラ一体型BPS-i30ポンプシステムは消耗品となる軸受やシールを使わない革新的な遠心ポンプです。 磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたポンプケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動されます。 インペラとポンプケーシングは、共に耐薬液性の高純度フッ素樹脂で造られています。これらはロ-タ磁石とともにポンプヘッドを構成しています。 コントローラ及びモータは、従来の弊社BPSシステムと異なり、ドライバ・ハウジング として一体化されており、ケーブル配線の煩わしさやスペースの問題からから解放されます。 インペラの回転数を電子回路により精密に制御されますので脈動がありません。 脈動の無いバルブレス構造ですので、インラインの昇圧が可能です。 制御システムはPI機能を有しており、各種センサー類を用いて、クローズドループの流量或は圧力一定制御をより簡単に構築できます。

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磁気浮上型インテグレーテッドポンプ『BPS-i100』

Compact & Resonable for Highend Process !

モータ・コントローラ一体型BPS-i100ポンプシステムは消耗品となる軸受やシールを使わない革新的な遠心ポンプです。 磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたポンプケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動されます。 インペラとポンプケーシングは、共に耐薬液性の高純度フッ素樹脂で造られています。これらはロ-タ磁石とともにポンプヘッドを構成しています。 コントローラ及びモータは、従来の弊社BPSシステムと異なり、ドライバ・ハウジング として一体化されており、ケーブル配線の煩わしさやスペースの問題からから解放されます。 インペラの回転数を電子回路により精密に制御されますので脈動がありません。 脈動の無いバルブレス構造ですので、インラインの昇圧が可能です。 制御システムはPI機能を有しており、各種センサー類を用いて、クローズドループの流量或は圧力一定制御をより簡単に構築できます。

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磁気浮上型ベアリングレスポンプ『BPS-2000』

寿命がある軸受や摩耗するシールを使わない、革新的な磁気浮上式遠心ポンプ!

BPS-2000ポンプシステムは消耗品となる軸受やシールを使わない革新的な遠心ポンプです。 磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたポンプケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動されます。 インペラとポンプケーシングは、共に耐薬液性の高純度フッ素樹脂で造られています。これらはロ-タ磁石とともにポンプヘッドを構成しています。 電子的にロータ回転数を制御するので、流体圧力と流量は精密に制御され脈動もありません。 このポンプには、2種類の基本システムがあります。 単独運転型は、コントローラに手動で速度を設定する操作パネルが組み込まれ、アナログ信号で速度を設定するPLCを省略できます。拡張型は、PLCインターフェースが内蔵され、外部信号で速度を設定、または、流量や圧力センサを用いた精密な流量または圧力制御が可能です。 詳しくはお問い合わせください。

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磁気浮上型ベアリングレスポンプ『BPS-200』

Better Pumps for Better Yields !

BPS-200ポンプシステムは消耗品となる軸受やシールを使わない革新的な遠心ポンプです。 磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたポンプケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動されます。 インペラとポンプケーシングは、共に耐薬液性の高純度フッ素樹脂で造られています。これらはロ-タ磁石とともにポンプヘッドを構成しています。 電子的にロータ回転数を制御するので、流体圧力と流量は精密に制御され脈動もありません。 このポンプには、2種類の基本システムがあります。 単独運転型は、コントローラに手動で速度を設定する操作パネルが組み込まれ、アナログ信号で速度を設定するPLCを省略できます。拡張型は、PLCインターフェースが内蔵され、外部信号で速度を設定、または、流量や圧力センサを用いた精密な流量または圧力制御が可能です。 詳しくはお問い合わせください。

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磁気浮上型ベアリングレスポンプ『BPS-600』

Better pump for Better Yields !

BPS-600ポンプシステムは消耗品となる軸受やシールを使わない革新的な遠心ポンプです。 磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたポンプケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動されます。 インペラとポンプケーシングは、共に耐薬液性の高純度フッ素樹脂で造られています。これらはロ-タ磁石とともにポンプヘッドを構成しています。 電子的にロータ回転数を制御するので、流体圧力と流量は精密に制御され脈動もありません。 このポンプには、2種類の基本システムがあります。 単独運転型は、コントローラに手動で速度を設定する操作パネルが組み込まれ、アナログ信号で速度を設定するPLCを省略できます。拡張型は、PLCインターフェースが内蔵され、外部信号で速度を設定、または、流量や圧力センサを用いた精密な流量または圧力制御が可能です。 詳しくはお問い合わせください。

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磁気浮上型ベアリングレスポンプ『BPS-4000』

Better pump for Better Yields !

BPS-4000ポンプシステムは消耗品となる軸受やシールを使わない革新的な遠心ポンプです。 磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたポンプケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動されます。 インペラとポンプケーシングは、共に耐薬液性の高純度フッ素樹脂で造られています。これらはロ-タ磁石とともにポンプヘッドを構成しています。 電子的にロータ回転数を制御するので、流体圧力と流量は精密に制御され脈動もありません。 このポンプには、2種類の基本システムがあります。 単独運転型は、コントローラに手動で速度を設定する操作パネルが組み込まれ、アナログ信号で速度を設定するPLCを省略できます。拡張型は、PLCインターフェースが内蔵され、外部信号で速度を設定、または、流量や圧力センサを用いた精密な流量または圧力制御が可能です。 詳しくはお問い合わせください。

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磁気浮上型ベアリングレスポンプ 『BPS-2000H』

Better Pumps for Better Yields !

BPS-2000H.Sは、最大180℃の高温薬液に対応した磁気浮上型ベアリングレスポンプシステムです。摩耗する軸受や液漏れの原因となるシールを使用していないため、パーティクル発生やメンテナンス頻度を大幅に低減することが可能です。 インペラは密閉されたポンプケーシング内で非接触に浮上し、モータの磁界を回転させることで駆動されます。インペラおよびポンプケーシングには耐薬品性に優れた高純度フッ素樹脂(PFA)を採用しており、高温の硫酸やリン酸などの過酷な薬液でも使用可能です。 高温薬液の移送に対応するため、モータには水冷機構を標準搭載しています。電子部品の温度上昇を抑えながら安定した運転が可能です。 制御機能を搭載しており、回転数を高精度かつ高速に制御できます。流量センサや圧力センサを組み合わせることで、流量または圧力のフィードバック制御を実現し、安定した流量制御・圧力制御を可能にします。 操作パネルから回転数を設定できるスタンドアロンタイプと、PLCやUSBインターフェースを備えた拡張タイプの2種類を用意しています。用途に応じて、高度な自動制御や設備監視システムへの組み込みが可能です。

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磁気浮上型インテグレーテッドポンプ『BPS-i600』

Better Pumps for Better Yields !

BPS-i600は、モータとコントローラを一体化した磁気浮上型ベアリングレスポンプです。外部コントローラが不要なコンパクトな設計で、配線工数を削減でき装置への組み込みが容易です。 磁気浮上技術により、インペラはポンプケーシング内で非接触に浮上し、モータの磁界を回転させて駆動されます。軸受やシールを使用していないため、パーティクル発生やメンテナンス頻度を大幅に低減することが可能です。 インペラおよびポンプケーシングには耐薬品性に優れた高純度フッ素樹脂(PFA)を採用しています。また、ポンプハウジングは溶着されており、Oリングを使用しないため、液漏れや汚染リスクを低減します。 制御機能を搭載しており、回転数を高精度かつ高速に制御できます。流量センサや圧力センサを組み合わせることで、流量または圧力のフィードバック制御を実現し、安定した流量制御・圧力制御を可能にします。 PLCインターフェースおよびRS485(Modbus RTU)通信に対応しており、既存設備や上位システムとの接続も容易です。また、マルチポンプシステムと接続して使用することで、複数台のポンプをネットワーク化し、効率的な制御・監視が可能です。

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