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・ストローク長は25~200mm ・焼入れ鋼材と再循環ボールベアリングガイドによる、優れた剛性と熱安定性 ・ロータリーエンコーダ内臓タイプ(X-LRM-E)では、モータエンコーダ位置フィードバックにより、スリップ/ストール検出機能と自動回復機能付き ・リニアエンコーダ内臓タイプ(X-LRM-DE)では、50 nmの分解能リニアエンコーダにより、スリップ/ストール検出機能と位置補正機能付き ・200mmストロークに対し、位置決め精度15μm以内(リニアエンコーダ内臓タイプ) ・耐荷重50kgの高剛性ステージ ・コントローラ内蔵、他のZaber製品とデイジーチェーン接続が可能
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