産業用機械

テクノロジーリンク株式会社

従業員数2名
住所東京都豊島区南池袋1-16-20ぬかりやビル6階
電話03-6871-9536
最終更新日：
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X-LRMシリーズ精密電動ステージ

コンパクト・低床・高剛性・高精度リニアステージ

・ストローク長は25～200ｍｍ ・焼入れ鋼材と再循環ボールベアリングガイドによる、優れた剛性と熱安定性 ・ロータリーエンコーダ内臓タイプ(X-LRM-E)では、モータエンコーダ位置フィードバックにより、スリップ/ストール検出機能と自動回復機能付き ・リニアエンコーダ内臓タイプ(X-LRM-DE)では、50 nmの分解能リニアエンコーダにより、スリップ/ストール検出機能と位置補正機能付き ・200mmストロークに対し、位置決め精度15μm以内（リニアエンコーダ内臓タイプ） ・耐荷重50kgの高剛性ステージ ・コントローラ内蔵、他のZaber製品とデイジーチェーン接続が可能

  • 搬送・ハンドリングロボット
  • 基板搬送装置(ローダ・アンローダ)
  • その他組立機械

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