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真空装置事業
太陽電池に対する需要は、世界的な原油価格の高騰や国の省エネルギー政策へのシフト等の影響を受けて今後ますます高まる一方であり、その太陽電池の材料であるシリコンの高純度化の実現を高い真空技術力により目指しています。