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The abatement system is highly efficient, used in CVD- and etch applications for photovoltaic, semiconductor and other related industries. Advantage:
Advantage: Pre-wet scrubber design,high removal efficiency. Pre-heating design,high destruction efficiency.Electric heater type gas abatement system. Perfect abatement efficiency for flammable &water soluble gases Minimizing moisture vapor exhaust (Apply dry system) Excellent safety interlock system Longer maintains cycle .Simple operation and easy maintenance time. Relatively lower operation cost(Longer life heater easy to PM)
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