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Wet-Thermal-wet

最終更新日:2013年11月05日

株式会社臺禹科機
株式会社臺禹科機

Solar, Thin Film, Etching, Diffusion

series:Electric decomposing process exhaust, versatile and more convenient, but the temperature does not exceed 1000 ° C.

    その他半導体
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Advantage: Pre-wet scrubber design,high removal efficiency. Pre-heating design,high destruction efficiency.Electric heater type gas abatement system. Perfect abatement efficiency for flammable &water soluble gases Minimizing moisture vapor exhaust (Apply dry system) Excellent safety interlock system Longer maintains cycle .Simple operation and easy maintenance time. Relatively lower operation cost(Longer life heater easy to PM)

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用途/実績例

TSMC

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株式会社臺禹科機

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