【製品ラインナップ】 　・シングルポイントセンサ (2IT, 2IT-DW, 2IT-RW) 　　　厚み計測用センサで、表面状態、材質によって適切な照明のセンサを選択できます。 　　　ドープウエハの測定では2IT-DWシリーズ、表面の粗いウエハなどでは2IT-RWシリーズが最適です。 　　　最大70kHzの高速測定ができ、薄膜（数um)～厚膜(1260um)まで複数のプローブでカバーできます。　　　 　・エリアスキャナセンサ (Flying Spot Scanner) 　　　2軸ガルバノでエリアスキャンができるタイプです。 　　　振動の影響がなく、稼働ステージ不要になります。 　　　φ40, φ80, φ300mmのタイプがあり、最大70kHzの高速測定ができます。 【その他の特長】 ■測定レンジ：2IT1000 60μm～8000μm (n=1)　 　　　　　　　2IT500 35μm～4000μm(n=1) ■分解能：最大1nm(n=1) ■インターフェイス：Ethernet,RS422,アナログ(2ch) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【その他の特長】 ■測定レンジ：2DW1000 50μm～8000μm (n=1)　 　　　　　　　2DW500 30μm～4000μm(n=1) 　　　　　　　2DW250 15μm～2000μm(n=1) ■分解能：最大1nm(n=1) ■インターフェイス：Ethernet,RS422,アナログ(2ch) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【取扱製品(抜粋)】 ■ファイバーレーザ用切断ヘッド 　・FineCutter 　・SpeedCutter 　・MiniCutter 　・LightCutter2.0 　・ProCutter 2.0 ■計測機器 　・シングルポイントセンサ 　　　CHRocodile 2ITシリーズ 　　　CHRocodile 2S/2Eシリーズ 　　CHRocodile 2LR 　・ラインセンサ CHRocodile CLSシリーズ 　・ラインカメラ Chromatic Vision Camera 　・エリアスキャナ 　　　Flying Spot Scanner(FSS) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【ドープウェハー各種測定結果】 ■Dopped wafer ・P-(1-150Ω・cm) ・N-(1-200Ω・cm) ・P+(0.01-0.02Ω・cm) ・P++(0.005-0.01Ω・cm)980μmは除く ■Note：スラリーは測定時に光ピークのシグナル影響あり ■スラリー0.6mm～1.5mm厚みにおいて、215-545um(p++) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【その他の掲載内容(抜粋)】 ■例1：ウェハーインプロセス中のSi厚み測定データ例：分光干渉式Si厚み ■分光干渉原理によるウェハーInsituプロセスの利点 ■例2：ウェハーインプロセス中のSi厚み測定データ例：色収差共焦点によるステップハイト(厚み） ■色収差共焦点原理によるウェハーInsituプロセスの利点 ■測定例3：バンプウェハーの形状計測 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【その他の掲載内容(抜粋)】 ■原理2.共焦点厚み測定モード(透明体の厚み測定) ■白色光センサー ■CHRocodile C ■干渉センサー ■CHROMATIC VISION CAMERA(色収差式高焦点深度ラインカメラ) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【その他特長】 ■オペレーターが高い研削レートを達成でき、結果として加工時間が著しく短縮 ■工程の最後に再びレートを下げ、ウエハーの滑らかな仕上げを維持可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【その他の掲載内容】 ■会社紹介 　・会社略歴及び事業所 　・一目で見たプレシテック概要 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【原理】 当社製品は測定原理で主に2種類のラインナップに分けることができます。 ■色収差共焦点：主に表面形状の計測に使用され、高さ計測、表面3D形状の計測などが主な用途です。色収差共焦点の原理を利用した大きな焦点深度と、当社の優れた光学設計技術を用いて、高速・高精度・高い角度許容度の測定を実現します。 ■分光干渉法：主に厚み計測に使用します。分光干渉法の強みを活かしたサブミクロンの高精度測定ができます。In-situ/モニタリング/インライン用などに必要な高速測定が可能です。 【製品ラインナップ】 ■シングルポイントセンサ 形状測定、厚み測定用センサがあります。 100万円以下の安価なタイプもあります。 ■ラインセンサ 主に形状測定用で、稼働ステージと併用して全面測定ができます。 ■エリアスキャナセンサ 2軸ガルバノでエリアスキャンができるタイプです。 振動の影響がなく、稼働ステージ不要のエリアスキャナもあります。 形状測定、厚み測定に利用できます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【原理】 当社製品は測定原理で主に2種類のラインナップに分けることができます。 ■色収差共焦点 主に表面形状の計測に使用され、高さ計測、表面3D形状の計測などが主な用途です。 色収差共焦点の原理を利用した大きな焦点深度と、当社の優れた光学設計技術を用いて 高速・高精度・高い角度許容度の測定を実現します。 ■分光干渉法 主に厚み計測に使用します。分光干渉法の強みを活かしたサブミクロンの高精度測定ができます。 In-situ/モニタリング/インライン用などに必要な高速測定が可能です。 【製品ラインナップ】 ・シングルポイントセンサ 形状測定、厚み測定用センサがあります。100万円以下の安価なタイプもあります。 ・ラインセンサ 主に形状測定用で、稼働ステージと併用して全面測定ができます。 ・エリアスキャナセンサ 2軸ガルバノでエリアスキャンができるタイプです。 振動の影響がなく、稼働ステージ不要のエリアスキャナもあります。 形状測定、厚み測定に利用できます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【原理】 当社製品は測定原理で主に3種類のラインナップがあります。 ■色収差共焦点 主に表面形状の計測に使用されていますが、透明体の厚み測定にも利用できます。分光干渉法より精度は劣りますが、安価な厚み測定をご希望の場合はこちらがお勧めです。 ■分光干渉法 主に厚み計測に使用します。分光干渉法の強みを活かしたサブミクロンの高精度測定ができます。 In-situ/モニタリング/インライン用などに必要な高速測定が可能です。 ■レーザー加熱を利用した方法(Enovasense社製センサ） レーザーダイオードで対象物を加熱。厚みに依って熱の伝搬スピードが異なるところを利用しています。独自のアルゴリズムで、対象物からの輻射熱を検知し、厚みに換算します。 【製品ラインナップ】 ・シングルポイントセンサ 高精度タイプから、100万円以下の安価なタイプもあります。 ・ラインセンサ 色収差共焦点で、稼働ステージと併用して全面測定ができます。 ・エリアスキャナセンサ 2軸ガルバノでエリアスキャンができるタイプです。 振動の影響がなく、稼働ステージ不要のエリアスキャナもあります。