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【資料】非接触厚み及び形状計測センサー

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最終更新日:2022年03月30日

プレシテック・ジャパン株式会社
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測定例を多数掲載!CHRocodileの半導体向けアプリケーションをご紹介しています

当資料は、非接触厚み及び形状計測センサーについて掲載しています。 「CHROMATIC VISION CAMERAの原理」をはじめ、「測定例」や 「CHRocodileの特長と優位性」などについてご紹介。 ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容(抜粋)】 ■白色光センサー ■CHRocodile C ■干渉センサー ■CHROMATIC VISION CAMERA ■FLYING SPOT SCANNER ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

    センサ光学測定器
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【資料】非接触厚み及び形状計測センサー

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  • 関連リンク - https://www.precitec.de/jp/precitec-group-start-pa…
  • 特設サイト - 製品・サービス詳細 - https://pr.mono.ipros.com/precitec-group/product/

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基本情報

【その他の掲載内容(抜粋)】 ■例1:ウェハーインプロセス中のSi厚み測定データ例:分光干渉式Si厚み ■分光干渉原理によるウェハーInsituプロセスの利点 ■例2:ウェハーインプロセス中のSi厚み測定データ例:色収差共焦点によるステップハイト(厚み) ■色収差共焦点原理によるウェハーInsituプロセスの利点 ■測定例3:バンプウェハーの形状計測 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯

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用途/実績例

【用途・測定項目・メリットなどキーワード】 非接触、光センサ、光学センサ、共焦点、分光干渉法、厚み、薄膜、厚膜、ギャップ、高さ、表面粗さ、平坦度、TTV、形状、外観、エッジ、斜面、計測、測定、検査、高速、3次元、ラインセンサ、ラインスキャン、エリアスキャン、全面、小型、コンパクト、安い、高精度、インライン、モニタリング、In-Situ、加工中、加工前後、研磨、オフライン、卓上機、抜き取り、組込み、半導体、ウエハ、ウエハ貼あわせ、Siウエハ、Si, GaAs, InP, SiC, LiNbO3(LN), LiTaO3(LT), GaN, SiP、Al2O3(サファイア)、CMM、溶接部、ガラス、石英ガラス、珪酸ガラス(医療用アンプル), ディスプレイ向けガラス、カーウインドシールド、PCB、医療用バルーン、バリアフィルム、PETフィルム、コート、フィルム、多層フィルム、塗布膜、コンフォーマルコーティング、電極層コーティング、ステントコーティング、ポリイミド、PVB、樹脂材、フラックス、接着剤、絶縁膜、空気層、ダイシング溝、フリップチップ、ワイヤボンダ、マイクロバンプ、透明、透明体、黒色、光沢、鏡面、簡単

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【資料】Precitecプレゼン半導体向け測定例

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プレシテックは、レーザー材料加工および光学測定技術のスペシャリストです。 弊社は単なるシステムおよびコンポネントのサプライアーではなく 顧客の円滑な加工プロセスの専門的なパートナーです。 弊社は基礎段階からご相談に応じ、顧客と共に顧客の要望ならびに 目的を的確にコンサルトします。独自の加工プロセスでの成功の鍵が 展示、監視、加工処理、制御の4構成であることを把握しています。 これによって初めて、顧客の用途に適切なソリューションを提供することができるのです。 数十年来の経験からだけではなく、レーザー加工ヘッド、品質監視 システムならびに間隔/厚み測定用の光学的測定システム等の弊社 高品質製品から直接その利点を得ることができます。 光学センサーは最高級の精密性とダイナミックな適合性が特徴です。 さらに、高速測定でも正確な値を検出します

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