商社・卸売り

ALDジャパン株式会社

従業員数3名
住所東京都府中市寿町1-3-10-401
電話042-360-3152
最終更新日：
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原子層堆積（ALD）装置

豊富なプロセスレシピを持ちながらも非常に小型な原子層堆積装置

設置面積：48x48cm 基板サイズ： 最大4インチ プレカーサー材料：５系統 方式：ホットウォール型熱式 チャンバー温度：最高350℃ プロセスレシピの例：Al2O3, SiO2, TiO2, HfO2, ZrO2, Pt, Ru カスタマーレシピ作成モードもあります インターロックと安全機構付き

  • CVD装置
  • その他表面処理装置

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