【ラインアップ】 ○マスク洗浄装置（自動タイプ） ○マスク洗浄装置（手動タイプ） →マスクのセット/リセットを手動で行なう ○オートスピンコーター ○スピンナー（実験用） →簡易タイプのスピンナー。100V電源で使用可能 ○マニュアルスピンコーター →基板の受渡しを人手又はMGVで行う装置 ○スピンクリーナー ○スピンエッチャー →ウェハーのエッチングを行う装置 ○MGV →半自動装置に付いている投入装置を走行式にした物 ○LD／ULD ○UV照射装置 →塗布後の基板を乾燥する装置 ○スリットコーター →薬液の使用量を大幅に削減する事が可能 ○フォトマスク用プロセス装置 →洗浄、塗布、現像、エッチング、剥離工程を一貫して処理を行う装置 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• その他洗浄機
• コーター
• 基板搬送装置(ローダ・アンローダ)