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検査装置 INSPECTION
エリアカメラによるスペーサ・粒子カウント及びラインセンサーカメラによる全面のクラスター・異物検査を行います。研究開発用途の卓上検査装置からインラインの全自動検査装置、周辺のバッファー・搬送装置 等にも対応致します。
