「クリーンオーブン」は、最高使用温度280℃に対応した、 炉内クリーン度クラス100のオーブンです。 高精度な温度分布を実現した「ボックス型クリーンオーブン」と、IR炉にも 対応可能な「枚葉多段型クリーンオーブン」の2タイプをご用意しております。 当製品は、LCD（液晶ディスプレイ）・アレイカラーフィルターなどの 工程における乾燥、焼成、硬化に最適です。 【特長】 ■最高使用温度280℃に対応 ■炉内クリーン度クラス100 ■優れた湿度分布 ■ロボット使用による複数オーブン対応可能 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。