アトナープの製品・サービス一覧

質量分析装置ASTONを使ったテクニカルノートをご紹介します。 ＜テクニカルノート一覧＞ 1.　ASTON Technical Note_vol.2_空気中のクリプトン測定 2.　ASTON Technical Note_vol.3_タングステンエッチング測定 3.　ASTON Technical Note_vol.4_再現性 ※テクニカルノートは、随時追加してまいります。

• その他検査機器・装置

質量分析装置ASTONを使ったアプリケーションノートをご紹介します。 ＜アプリケーションノート一覧＞ 1. ASTON Application Note_vol.1_チャンバークリーニング 2. ASTON Application Note_vol.3_エタノールの簡易成分分析 3. ASTON Application Note_vol.2_高感度終点検出_エッチングプロセスモニタ ※アプリケーションノートは、随時追加してまいります。

• その他検査機器・装置

『ASTON Impact』は、ガス分析に特化したプロセスガスモニタリングに好適な高感度質量分析装置です。コストパフォーマンスと使い勝手を追求した 電子イオン化イオン源モデルです。省スペースで、大気圧領域からガスをモニタリングすることが可能です。 小型ながらm/z285 まで拡張したマスレンジに加え、 プロセスガスモニタリングの質量分析装置としては、他社を凌ぐ高感度測定に成功しました。電子イオン化イオン源、二次電子増倍管を搭載した四重極型の小型センサーと、ポンプをパッケージングした省スペース設計になっています。 【主なアプリケーション】 ■プロセスコンディションモニタ（エッチング・成膜） ■エンドポイントモニタ（エッチング・クリーニング） ■チェンバ汚染モニタ ■ガス除害システムの残留ガス分析 ■環境モニタ ■発酵プロセスモニタ ■天然ガス分析モニタ ■Lyophilization (Freeze-Drying) ※詳しくは、sales-jp@atonarp.com へお問い合わせ下さい。

• 分析機器・装置

質量分析計の基本構成や、質量分析計から得られる情報をご紹介します。 ＜基礎講座一覧＞ 1.　その1　質量分析計の基本構成 質量分析計の構成を中心に、質量分析の基礎知識をご紹介します。 2.　その2　電子イオン化（EI）-四重極型質量分析計から得られる情報 多成分ガス分析を行う際に必要な基礎知識をご紹介します。

• その他検査機器・装置