大気圧からサンプリングOK！コンパクトな高感度質量分析装置
『ASTON Impact』は、ガス分析に特化したプロセスガスモニタリングに好適な高感度質量分析装置です。コストパフォーマンスと使い勝手を追求した 電子イオン化イオン源モデルです。省スペースで、大気圧領域からガスをモニタリングすることが可能です。 小型ながらm/z285 まで拡張したマスレンジに加え、 プロセスガスモニタリングの質量分析装置としては、他社を凌ぐ高感度測定に成功しました。電子イオン化イオン源、二次電子増倍管を搭載した四重極型の小型センサーと、ポンプをパッケージングした省スペース設計になっています。 【主なアプリケーション】 ■プロセスコンディションモニタ（エッチング・成膜） ■エンドポイントモニタ（エッチング・クリーニング） ■チェンバ汚染モニタ ■ガス除害システムの残留ガス分析 ■環境モニタ ■発酵プロセスモニタ ■天然ガス分析モニタ ■Lyophilization (Freeze-Drying) ※詳しくは、sales-jp@atonarp.com へお問い合わせ下さい。
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基本情報
【主なハードウェア機能】 ■イオン化方式：電子イオン化法 ■フィラメント： Re/W または Ir/Y2O3 から選択可能 ■質量分離方式：四重極型 ■検出器：FC/SEM ■ポンプ：ターボ分子ポンプ、フォアポンプ※オプション ■サイズ：299 x 218 x 331 mm ■Dwell Time： 10ms～ ■検出限界：0.1ppm (窒素換算) ■質量範囲：2-285 u ■電源、電力：24V, 350W ■IoT(Internet of Things)対応 Either ポート ※詳しくは、sales-jp@atonarp.com へお問い合わせ下さい。
価格情報
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納期
用途／実績例
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ラインアップ（2）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| AST3007 | ASTON Impact-300 |
| AST3006 | ASTON Impact-300DP |
この製品に関するニュース（1）
企業情報
アトナープ株式会社は、日本をはじめ、米国・インドにも拠点をもつ機器メーカーです。半導体・天然ガス・医薬品業界において、高品質な機器類を開発・製造しご提供しております。
