不純物元素の定量評価及び膜厚評価が可能です
ダイヤモンドは高絶縁破壊電界など優れた物性を有するため、次世代のパワーデバイスや 量子デバイス材料として期待されています。ダイヤモンドへ不純物元素をドープすることにより 高性能な半導体として機能します。ドープした元素の濃度分布を把握するには、 ppb～ppmオーダーの不純物を高感度で検出可能なSIMS分析が有効です。 あわせて不純物の濃度分布から各層の膜厚評価も可能です。 MSTでは、ダイヤモンド標準試料を取り揃えており、30種類以上の元素について定量することができます。
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基本情報
測定法：SIMS 製品分野：パワーデバイス、量子デバイス 分析目的：微量濃度評価、不純物評価・分布評価
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用途／実績例
パワーデバイス、量子デバイスの分析です。
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企業情報
MSTは、高度な受託分析サービスを提供する財団法人です。 最先端の「物理的解析」と、AI技術を活用した「高度なデータ解析」を融合させることで、従来の分析の枠を超えた多角的な視点を提供し、お客様の高度なニーズに迅速かつ的確にお応えします。 技術知識を兼ね備えた専門スタッフが、お客様の課題に寄り添い、最適な分析プランをオーダーメイドでご提案いたします。オンラインでの打ち合わせはもちろん、貴社への訪問による対面でのご相談も承っております。 また、ISO9001（品質）およびISO27001（情報セキュリティ）を取得しており、機密性の高いプロジェクトにおいても、確かな技術力と厳格な管理体制のもと、安心してお任せいただける環境を整えています。製品開発の加速から不良原因の究明、特許調査まで、研究開発のあらゆるフェーズにおける課題を、確かな分析技術で解決へと導きます。
