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【その他の特長】 ■下記製品との組み合わせることで、完全なドライシステムの要求に対応 ・多くの実績を持つEX75DXターボ分子ポンプ ・E2M1.5ロータリポンプもしくはXDD1ダイアフラムポンプ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【ラインアップ】 ■nXDS6i ■nXDS10i ■nXDS15i ■nXDS20i ■XDS35i ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【仕様】 ■呼び径:25A~400A ■接ガス部材質:SUS304 ■ディスクシール:フッ素ゴムOリング ■軸シール:フッ素ゴムOリング ■作動空気圧:0.4~0.6MPaG ※詳細についてはお問合せください。
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