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『CSM＆CSYSシリーズ』は、広い測定範囲を超高感度で速く測定が可能な レーザ走査表面形状検査機です。特許技術の「レーザ表面形状検査機」で、半導体ウエハ（Si,SiC,GaN,etc.）、MEMS、ハードディスク、FPD用機能性フイルム、スパッタ薄膜などの「表面形状」「粗さ」「うねり」「パーティクル」「キズ欠陥」を高感度で、早く、広い範囲を検査して「デジタルデータ」と「3D画像データ」を表示します。 【特長】 ■レーザ走査式非接触で表面形状 測定データ表示 ■高い検出感度で広い測定範囲を、速く測定してデジタル画像表示 ■シンプルな光学検出原理と構造のために、信頼性が高い ■極めて振動に強く除震台・防振装置不要 ■インライン工程内の全数非破壊検査、自動化対応可能 ※詳細は資料請求して頂くか、ダウンロードからPDFデータをご覧下さい。

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