広い範囲の微小な高さの変化を測定可能な表面形状検査機！極めて振動に強く除震台・防振装置が不要です！
『CSM＆CSYSシリーズ』は、広い測定範囲を超高感度で速く測定が可能な レーザ走査表面形状検査機です。特許技術の「レーザ表面形状検査機」で、半導体ウエハ（Si,SiC,GaN,etc.）、MEMS、ハードディスク、FPD用機能性フイルム、スパッタ薄膜などの「表面形状」「粗さ」「うねり」「パーティクル」「キズ欠陥」を高感度で、早く、広い範囲を検査して「デジタルデータ」と「3D画像データ」を表示します。 【特長】 ■レーザ走査式非接触で表面形状 測定データ表示 ■高い検出感度で広い測定範囲を、速く測定してデジタル画像表示 ■シンプルな光学検出原理と構造のために、信頼性が高い ■極めて振動に強く除震台・防振装置不要 ■インライン工程内の全数非破壊検査、自動化対応可能 ※詳細は資料請求して頂くか、ダウンロードからPDFデータをご覧下さい。
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基本情報
【ラインアップ】 ■CSYS 12-450 ■CSYS 12-300 ■CSYS 12-200 ■CSYS 12-100 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【測定対象ワーク】 ■半導体ウエハ、ハードディスク、マスク、FPDなどの鏡面 ■研削加工表面、薄膜スパッタ、機能性フイルムなどの、 表面形状・粗さ（Ra）・キズ欠陥・汚れ等の表面検査 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
株式会社コアシステムは、地球環境保護と限られた資源を、大切に・安心・安全に活用可能にするための、新しい技術開発と商品化開発を推進します。 現在は、ＩＴ産業の素材加工：半導体ウエハ・磁気ＤＩＳＫ・マスクなどの製造工程内での、品質管理・工程管理のための「レーザ走査表面形状検査機」を中心とした、検査自動化装置の、提案・開発設計・製作・納入・立上引渡・メンテナンスサービス・廃棄物リサイクルまでの業務提供に注力しています。 レーザ表面形状検査機関係では、エネルギー関連発送電スマートグリッド、電気・ハイブリット自動車、鉄道車両などの、制御ＩＣ新素材の、加工品質確保のために、新方式の表面形状検査機の技術開発と商品化を進めております。 更に、新たな分野への取組みとして「分散型電源装置用制御装置の、高効率・高品質・高性能・低コストな装置」の実現を目指して、技術開発と商品化を進めております。 これからも皆様の篤いご支援とご指導を賜りながら、社会の役立つような新しい技術による製品開発とサービスに注力を致す所存で居ります。