【その他ラインアップ(一部)】 ■PanRCWA ■RESIST ■ARMI ■PanTune ■PanSEM　など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• ソフトウェア（ミドル・ドライバ・セキュリティ等）

【回路図入力の特長】 ■階層構造の入力 　・自動的に回路図の骨組を作るトップダウン方式 　・自動的にシンボルを作成するボトムアップ方式 ■グラフィカルシンボル編集 　・簡単で直感的な使用 ■カテゴリー別の部品のブラウザー 　・インストールしたSPICEモデルの表示 　・SPICEデバイスモデルの変換 ■先進の編集機能 　・ラバーバンド有・無のブロックの操作 　・スティムラスソースの対話形式の編集 　・マルチレベルでのundo ■シミュレータコマンド入力方法 　・対話形式かシミュレータコマンドウインドウから伝統的なコマンド入力　など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• ソフトウェア（ミドル・ドライバ・セキュリティ等）
• その他組込み系（ソフト＆ハード）

【HyperLith(TM)にウエハー上での図形入力機能】 ■ダブルパターニングシミュレーションに適する ■液浸バブル、リフレクティブノッチング、非平面レジスト表面、下地の構造 ■レジスト内のイメージのトポグラフィーをTEMPESTpr2厳密解での計算 ■ハードウェアアクセラレータと並列処理 ■強力な3D構造編集機能でウエハー上の構造を作成、観察 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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