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光学式3D形状粗さ測定機 MarSurf CM mobileは、 レンズを高速かつ高精度に解析出来る共焦点顕微鏡です。 ■『光学式3D形状粗さ測定機 MarSurf CM mobile』を OPIE’26(2026年4月22~24日@パシフィコ横浜) 株式会社マブチ・エスアンドティー様ブースにてご覧頂けます! レンズ設計・製造展:ブースNo.【 I-32 】へ是非ご来場ください。 ■光学産業のアプリケーション例 ◎マイクロレンズアレイの幾何形状 ◎ウエハーレベルレンズの寸法・体積測定 → 測定時間:1レンズに付き4秒 →測定物設置後は全自動測定&全自動評価 ◎車載用 LiDAR のマイクロレンズの面精度(PV、RMS) ■特長 ◎粗さ(ISO 4287、13565、25178)、トポグラフィー、 輪郭/形状、細孔、粒子分析、欠陥検出 ◎ナノ単位の3Dデータ取得が最短7秒 ◎鏡面仕上げのワークや全数検査も高速測定 ◎振動に強く、白色干渉計では測定が難しい環境にも対応