ハイテクノサービスの製品・サービス一覧

当社では、「ASM･PXJ-200などのロボットリプレイス作業」をはじめ、様々な 『メンテナンス・オーバーホールサービス』を行っております。 半導体･CVD関連装置のメンテナンス・調整後には、高解像度デジタル オシロスコープによる測定結果をプリントアウトして添付。 メーカーサポートの終了した機器などのカスタマイズ･セッティング･ 移設立ち上げなどにも柔軟に対応いたします。一度ご相談下さい。 【サービス概要】 ■ASM･PXJ-200などのロボットリプレイス作業(FANUC製) ■ASM･PXJ-200、PXX-200搭載ロボット関連機器のOH･メンテナンス ■ASM社製Eagle-10、電気興業社製各種機器のメンテナンス･セッティング ■半導体･CVD関連装置のメンテナンス･カスタマイズ･セッティング ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 校正・修理

『半導体製造装置用プロセスコントローラー』は、当社の縦型減圧CVD装置 「HG-21」に搭載された、オリジナルの製品です。 産業機器、医療・農業など異分野へ幅広い応用が可能。 PCから簡単にプロセス条件の変更が行えます。またDI・DO・AI・AOで制御する 多くの装置に応用可能で、各種研究開発用装置に大いに利用できます。 【特長】 ■当社の縦型減圧CVD装置「HG-21」に搭載 ■グラフィカルに各種装置・PLCを制御 ■PCから簡単にプロセス条件を変更 ■DI・DO・AI・AOで制御する多くの装置に応用可能 ■各種研究開発用装置に大いに利用できる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他プロセス制御

縦型、枚葉、ウェハーサイズ、ガス種、フットプリントなど多くの使用に対応。汎用性を重視したハイグレード縦型減圧CVD装置です。標準仕様を基にカスタマイズを施し、より安価に製造することも可能です。 【特長】 ■スモールフットプリントながらウエハーサイズ3" 6" 8"/inchに対応 ■ヒーター昇降機能によりナチュラル酸化を低減 ■常温～900℃まで安定した温度コントロールを実現 ※詳しくはお問い合わせいただくかPDFをダウンロードしてご覧ください。

• その他半導体製造装置