10種類以上の半導体ガスを自在にコントロール可能！カスタマイズ可能
縦型、枚葉、ウェハーサイズ、ガス種、フットプリントなど多くの使用に対応。汎用性を重視したハイグレード縦型減圧CVD装置です。標準仕様を基にカスタマイズを施し、より安価に製造することも可能です。 【特長】 ■スモールフットプリントながらウエハーサイズ3" 6" 8"/inchに対応 ■ヒーター昇降機能によりナチュラル酸化を低減 ■常温～900℃まで安定した温度コントロールを実現 ※詳しくはお問い合わせいただくかPDFをダウンロードしてご覧ください。
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企業情報
新技術開発に魂を注がれておられます研究者様のお役に少しでも立ちたい。その思いから、当社ではCVD装置の開発、メンテナンス及びカスタマイズに技術を注いでおります。 アメリカから半導体製造装置がやってきて、凡そ35年、その黎明期から業界に携わり、今日にいたるまで多くの研究者様の助言を賜り、ハード面で技術を重ねてきた我々だからこそできることがあると信じております。