三幸の製品ラインアップ

弊社の結晶育成炉は、酸化物単結晶に求められる「高融点・酸素雰囲気・長時間安定制御」を前提に設計されております。 ※詳しくは以下のご連絡へお気兼ねなくご連絡ください。 株式会社三幸　本社　営業部 TEL：03-5403-9250

• 電気炉

弊社が製造する『多孔質セラミックス匣鉢』は、粉体材料の焼成にお薦めです。 通常の緻密な匣鉢ではガスがこもりやすい工程でも、多孔質構造により安定した処理が可能です。 形状は角型・丸型・深型など自由にカスタムでき、小ロット・試作にも対応しています。 ■特長 • 多孔質構造によりガス抜けが良く、焼成ムラを抑制 • 脱脂工程やガス発生を伴う材料処理に最適 • 高温でも形状が安定し、耐熱衝撃性に優れる • アルミナなど用途に応じた材質選択が可能 • 角型・丸型・深型などカスタム形状に対応 研究開発の場面で必要となる多孔質セラミックス匣鉢のご用意は弊社にお任せ下さい。 通常は木型を用いての製作となりますが、 木型不要の場合もございます。 ※詳しくは以下記載のご連絡先へお気兼ねなくご連絡ください。 株式会社三幸　本社　営業部 TEL：03-5403-9250

• 加工受託

弊社では焼成炉・熱処理炉などの高温工程で使用される均熱管を安定して支持するための専用治具を製作しております。 多孔質のアルミナ・ジルコニアなど耐熱セラミックスを材料とした、耐腐食性を発揮します。 現場の課題に合わせた形状提案が可能です。 単品での製作、小ロットにも対応しており、用途に応じた材質選定からサポートいたします。 ■特長 • 高温環境でも変形しにくい耐熱セラミックス製 • 金属では難しい絶縁性・耐腐食性を確保 • 用途に応じたカスタム形状に対応（溝形状・段付き・穴加工など） • 図面なしでも製作可能（ヒアリングから設計） 研究開発の場面で必要となる多孔質セラミックス部品のご用意は弊社にお任せ下さい。 通常は木型を用いての製作となりますが、 木型不要の場合もございます。 ※詳しくは以下記載のご連絡先へお気兼ねなくご連絡ください。 株式会社三幸　本社　営業部 TEL：03-5403-9250

• 加工受託

弊社では『ヒーター線固定用セラミックス部品』を電気炉など熱処理装置で使用されるヒーター線を安定して固定するためのセラミックス製治具を製造しております。 アルミナを中心とした耐熱材料を使用し、ヒーター線のズレ・断線を防止します。 形状は用途に合わせてカスタム可能で、溝形状・穴加工・段付きなど、ヒーター線の径や配置に応じた最適設計をご提案します。 小ロット・試作にも柔軟に対応しています。 ■特長 • 高温下でも安定した保持力 • ヒーター線のズレ・断線を防止 • 絶縁性が高く、金属治具の代替に最適 • 用途に応じたカスタム形状に対応 実験用、評価用など少量で小回りが利きます。 通常は金型を用いての製作となりますが、 金型不要の場合もございます。 ※詳しくは以下記載のご連絡へお気兼ねなくご連絡ください。 株式会社三幸　本社　営業部 TEL：03-5403-9250

• 加工受託

★高温・腐食環境に強く、安定した材料試験・焼成を実現するセラミックスるつぼ 弊社の『セラミックスるつぼ』は、材料試験・焼成・溶融工程など、高温・腐食環境での使用に最適な耐熱容器です。 ■特長 •高温耐性に優れている • アルミナ・ジルコニアなど、主に多孔質の材質にて選択可能 • 小ロット・試作対応、カスタム形状も製作可能 ■サイズ：最大外径φ360×φ320×480　最小は要相談 実験用、評価用など少量で小回りが利きます。 通常は木型を用いての製作となりますが、 木型不要の場合もございます。 ※詳しくは以下記載のご連絡へお気兼ねなくご連絡ください。 株式会社三幸　本社　営業部 TEL：03-5403-9250

• 加工受託

弊社製カーボンヒーターは等方性黒鉛を加工し製作されたヒーターです。 【高温・高真空プロセスに最適化】 -半導体・材料加工向けカスタムヒーターソリューション- 弊社カーボンヒーターは、高温・高真空環境での安定加熱を実現するために設計された、 産業用高性能ヒーターになります。 カーボン材料特有の高い耐熱性・低熱容量を活かし、各種熱処理プロセスに幅広く対応します。 【特長】 ■材質：等方性黒鉛（CIP材）、等方性黒鉛（CIP材・高純度品） ■円筒サイズ：φ226×φ206×80H　※端子部などは除く ■公差：JIS一般公差 中級 ■1,000℃以上（不活性雰囲気中）の高温環境でも形状変化が少ない ■装置メーカーや研究機関向けに、抵抗値、ゾーン設計、取付構造まで柔軟にカスタマイズ可能 ※詳しくは以下記載のご連絡へお気兼ねなくご連絡ください。 株式会社三幸　本社　営業部 TEL：03-5403-9250

• 加工受託

『カーボンリング』は、等方性黒鉛を加工し製作したリングです。 1個から御製作可能です。材質にご指定がある場合はお気軽にご相談ください。 【特長】 ■材質：等方性黒鉛（CIP成形品）、等方性黒鉛（CIP材・高純度品） ■サイズ：最大φ360×φ330×120H　最小は要相談 ■面粗さも指定可能 ■公差：JIS一般公差 中級 ※詳しくは以下記載のご連絡へお気兼ねなくご連絡ください。 株式会社三幸　本社　営業部 TEL：03-5403-9250

• 加工受託

『カーボンナット』は、等方性黒鉛を加工し、製作したナットです。 1個から御製作可能です。材質にご指定があります場合はお気軽にご相談ください。 【特長】 ■材質：等方性黒鉛（CIP成形品） ■サイズ：M3から製作可能 ■面粗さも指定可能 ■公差：JIS一般公差 中級 ※詳しくは以下記載のご連絡へお気兼ねなくご連絡ください。 株式会社三幸　本社　営業部 TEL：03-5403-9250

• 加工受託

『カーボンボルト』は、等方性黒鉛を加工したボルトです。 1個から御製作可能です。材質に御指定があります場合はお気軽にご相談ください。 【特長】 ■材質：等方性黒鉛（CIP成形品） ■サイズ：M3から製作可能 ■面粗さも指定可能 ■公差：JIS一般公差 中級 ※詳しくは以下記載のご連絡へお気兼ねなくご連絡ください。 株式会社三幸　本社　営業部 TEL：03-5403-9250

• 加工受託

『カーボンルツボ』は、等方性黒鉛を加工し製作した坩堝です。 1個から御製作可能です。材質にご指定があります場合にはお気軽にご相談ください。 【特長】 ■材質：等方性黒鉛（CIP成形品）、等方性黒鉛（CIP材・高純度品） ■サイズ：最大外径φ360×φ330×120H　最小は要相談 ■面粗さも指定可能 ■公差：JIS一般公差 中級 ※詳しくは以下記載のご連絡へお気兼ねなくご連絡ください。 株式会社三幸　本社　営業部 TEL：03-5403-9250

• 加工受託

抵抗加熱式熱処理炉なら、三幸にお任せください。 弊社では、抵抗加熱方式による精密熱処理炉の設計・製造を得意としております。 高い温度均熱性をお求めの場合はお気軽にご連絡ください。 高周波誘導加熱方式の“結晶育成炉"や、縦型抵抗加熱方式を採用した“アニール炉"や、 二珪化モリブデンヒーターを採用した“縦型抵抗加熱式ブリッジマン炉" などをご用意。 お客様のニーズに応じた装置を設計、製造いたします。 【ラインアップ(一部)】 ■結晶育成炉 ■アニール炉 ■真空高温抵抗合成炉 ■縦型抵抗加熱式ブリッジマン炉 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• アニール炉
• 加熱装置
• コントローラ

当社で取り扱う、「グラファイト製品」についてご紹介いたします。 横型マシニングセンタ・旋盤・縦型フライスによる各種加工を実施。 ヒーター、保温シールド等の設計も承ります。 目標公差・ユニファイ規格 ネジ切り・抵抗値合せによる出荷、等に 関してもご相談ください。 【製作可能目安寸法(完成寸法)】 ■角物：420×340[mm] ■丸物：φ320[mm] ■長物：800L[mm] ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• 加工受託

アルミナ・ジルコニアなど、主に多孔質の材質をご用意しております。 燃成可能最大寸法はW950×D950×H480です。 92・96・99・99.5（％）のアルミナ純度がございます。 【耐火物（アルミナ・ジルコニア）特長】 ■アルミナ・ジルコニア共、主に多孔質の材質にてラインアップ ■燃成可能最大寸法：W950×D950×H480 ■ジルコニアバブルもご用意できます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• セラミックス

『アニール炉』は、二珪化モリブデンヒータを4面縦型に配置し、高温下でかつ、 広範囲にワークを加熱することができる装置です。 縦型抵抗加熱方式を採用する事で、均熱特性が良く、扉式に比べヒータ内への 異物巻き込みを極力低減し、装置占有面積も小さくすることを実現。 また、炉床昇降機構及び、炉床台車引出し機構を装備しているため、より安全 かつ容易に炉床台へのワークの出し入れが行えます。 【特長】 ■縦型抵抗加熱方式を採用 ■二珪化モリブデンヒータを採用 ■大気雰囲気で最大1800℃まで昇温可能 ■炉床昇降機構、炉床台車引出し機構を装備 ■より安全かつ容易に炉床台へのワークの出し入れが行える ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 工業炉

『T11-18VR』は、アルミナチューブ内を不活性ガス又は酸化大気雰囲気で、 高温に加熱し、試料を合成するための抵抗加熱装置です。 縦型抵抗加熱方式を採用する事で、チューブ内への大気巻込みを極力低減し、 装置占有面積も小さくする事が可能となりました。 また、二珪化モリブデンヒータを採用しており、常用1800℃（最大1830℃）まで 昇温可能です。 【特長】 ■縦型抵抗加熱方式を採用する事で、装置占有面積も小さくする事が可能 ■二珪化モリブデンヒータを採用しており、常用1800℃（最大1830℃）まで昇温可能 ■坩堝昇降軸の動作を精動作から粗動作までシームレスな動作が可能 ■坩堝昇降機構を装備しているため、より安全かつ容易に坩堝の脱着が行える ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 工業炉

『真空高温抵抗合成炉』は、不活性ガス雰囲気で、高温に加熱し試料を 合成するための抵抗加熱装置です。 装置は上下分割チャンバーを採用しておりますので、試料の合成を 効率よく行えます。 ヒータ温度、バルブ動作、流量制御をレシピにて管理し、自動制御にて 運転をする事が可能です。 【特長】 ■装置は上下分割チャンバーを採用 ■試料の合成を効率よく行える ■加熱効率の良い抵抗加熱方式を採用 ■最大1,800℃まで昇温可能 ■視認性・操作性に優れる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 工業炉

『脱ガス炉（還元炉）』は、抵抗加熱ヒータ及び炉内構成品を縦型に配置し、 石英チューブ内にて還元処理（脱ガス）を行う装置です。 過昇温防止機能で、ヒータの異常加熱の防止、無停電電源（制御系）で 瞬時停電の対応をします。 また、ワークをヒータ下部から挿入することにより、石英チューブ内への 異物混入などが少なくなり、クリーンな雰囲気で処理が可能です。 【特長】 ■過昇温防止機能でヒータの異常加熱の防止 ■無停電電源（制御系）で瞬時停電の対応が可能 ■ペーパーレス記録針（8打点）を設け、真空も可能 ■均熱：800℃±10℃ ■クリーンな雰囲気で処理が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 工業炉

『1800STシリーズ』は、非常に短い時間で実験や生産を行うことが出来る 標準小型高温高真空雰囲気炉です。 吸着ガス等が極めて少なくクリーンな状態で熱処理を行えるため、非常に 純度が高く高品質の製品を確保できます。 炉体は、上面開閉方式としワークの出し入れが容易に行える構造となっており、 チャンバー構造は、水冷ジャケットや保護カバー等を採用し十分な安全性と 各シールの熱による破損を防いでいます。 【特長】 ■非常に短い時間で実験や生産を行うことが可能 ■吸着ガス等が極めて少なくクリーンな状態で熱処理を行える ■非常に純度が高く高品質の製品を確保できる ■炉体は上面開閉方式としワークの出し入れが容易に行える構造 ■チャンバー構造は水冷ジャケットや保護カバー等を採用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 焼却炉・焼却装置

『焙焼炉』は、ステンレス製チャンバーの内部に抵抗加熱ヒータ及び断熱材を 設置し、試料を大気中にて加熱し、焙焼を行う装置です。 プログラムタイプの温度調節器を採用し、19個のプログラム（1プログラム/ 19ステップ）を保持、設定が可能。 石英管にヒータを入れることにより、パーティクルコンタミを発生させません。 【特長】 ■過昇温度防止機能で、ヒータの異常加熱を防止 ■無停電電源（制御系のみ）により、瞬時に停電を対策 ■ペーパーレス記録針（8打点）を設け、炉内の温度データを取り込み可能 ■プログラムタイプの温度調節器を採用 ■19個のプログラム（1プログラム/19ステップ）を保持、設定が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 焼却炉・焼却装置

当カタログはお客様のニーズに合わせた熱処理装置の設計と製造、設備の改善、改造工事に加えて、 セラミックス製耐火物の製造とカーボン加工を手掛ける株式会社三幸の総合カタログです。 真空中又は、ガス雰囲気中での製品の熱処理加工を行い、高品質の製品を 生産する装置「標準小型高温高真空雰囲気炉 1800STシリーズ」をはじめ、 円筒状ヒーターを縦方向に3ゾーンに配置し、角ゾーンを個別に 加熱制御することができる熱処理装置「縦型円筒ヒーターユニット」等、 多数製品をラインアップしています。 【掲載内容（抜粋）】 ■セラミックス製品 ■標準小型高温高真空雰囲気炉 1800STシリーズ ■結晶育成炉 ■高周波誘導加熱方式スカルメルト炉 ■真空高温抵抗合成炉 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 製造受託

新しい形状の半導体熱処理炉用ヒーターです。ウェハの表面温度均一性と昇降温特性に優れています。 【特長】 ■制御熱電対 ヒータ側壁挿入方式 (制御用4箇所、過温保護用4箇所、アジャスト機構あり) ■断熱材材質 外周：ファインフレックスペーパー 内周：高純度ファイバーモールド ※総合カタログ進呈。詳しくはお問い合わせいただくかPDFをダウンロードしてご覧ください。

• その他ヒータ