三幸の製品・サービス一覧

株式会社三幸が取り扱う『セラミックス製品』についてご紹介いたします。 アルミナ・ジルコニア共、多孔質、緻密質などの材質をご用意しております。 燃成可能最大寸法はW1000×D1000×H480です。 また、緻密質アルミナを使用し、旋盤による円周加工品の製作を行っています。 92・96・99・99.5（％）のアルミナ純度がございます。 【耐火物（アルミナ・ジルコニア）特長】 ■アルミナ・ジルコニア共、多孔質、緻密質などの材質をラインアップ ■燃成可能最大寸法：W1000×D1000×H480 ■ジルコニアバブルもご用意 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• セラミックス

『アニール炉』は、二珪化モリブデンヒータを4面縦型に配置し、高温下でかつ、 広範囲にワークを加熱することができる装置です。 縦型抵抗加熱方式を採用する事で、均熱特性が良く、扉式に比べヒータ内への 異物巻き込みを極力低減し、装置占有面積も小さくすることを実現。 また、炉床昇降機構及び、炉床台車引出し機構を装備しているため、より安全 かつ容易に炉床台へのワークの出し入れが行えます。 【特長】 ■縦型抵抗加熱方式を採用 ■二珪化モリブデンヒータを採用 ■大気雰囲気で最大1800℃まで昇温可能 ■炉床昇降機構、炉床台車引出し機構を装備 ■より安全かつ容易に炉床台へのワークの出し入れが行える ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 工業炉

『T11-18VR』は、アルミナチューブ内を不活性ガス又は酸化大気雰囲気で、 高温に加熱し、試料を合成するための抵抗加熱装置です。 縦型抵抗加熱方式を採用する事で、チューブ内への大気巻込みを極力低減し、 装置占有面積も小さくする事が可能となりました。 また、二珪化モリブデンヒータを採用しており、常用1800℃（最大1830℃）まで 昇温可能です。 【特長】 ■縦型抵抗加熱方式を採用する事で、装置占有面積も小さくする事が可能 ■二珪化モリブデンヒータを採用しており、常用1800℃（最大1830℃）まで昇温可能 ■坩堝昇降軸の動作を精動作から粗動作までシームレスな動作が可能 ■坩堝昇降機構を装備しているため、より安全かつ容易に坩堝の脱着が行える ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 工業炉

『真空高温抵抗合成炉』は、不活性ガス雰囲気で、高温に加熱し試料を 合成するための抵抗加熱装置です。 装置は上下分割チャンバーを採用しておりますので、試料の合成を 効率よく行えます。 ヒータ温度、バルブ動作、流量制御をレシピにて管理し、自動制御にて 運転をする事が可能です。 【特長】 ■装置は上下分割チャンバーを採用 ■試料の合成を効率よく行える ■加熱効率の良い抵抗加熱方式を採用 ■最大1,800℃まで昇温可能 ■視認性・操作性に優れる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 工業炉

『脱ガス炉（還元炉）』は、抵抗加熱ヒータ及び炉内構成品を縦型に配置し、 石英チューブ内にて還元処理（脱ガス）を行う装置です。 過昇温防止機能で、ヒータの異常加熱の防止、無停電電源（制御系）で 瞬時停電の対応をします。 また、ワークをヒータ下部から挿入することにより、石英チューブ内への 異物混入などが少なくなり、クリーンな雰囲気で処理が可能です。 【特長】 ■過昇温防止機能でヒータの異常加熱の防止 ■無停電電源（制御系）で瞬時停電の対応が可能 ■ペーパーレス記録針（8打点）を設け、真空も可能 ■均熱：800℃±10℃ ■クリーンな雰囲気で処理が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 工業炉

『1800STシリーズ』は、非常に短い時間で実験や生産を行うことが出来る 標準小型高温高真空雰囲気炉です。 吸着ガス等が極めて少なくクリーンな状態で熱処理を行えるため、非常に 純度が高く高品質の製品を確保できます。 炉体は、上面開閉方式としワークの出し入れが容易に行える構造となっており、 チャンバー構造は、水冷ジャケットや保護カバー等を採用し十分な安全性と 各シールの熱による破損を防いでいます。 【特長】 ■非常に短い時間で実験や生産を行うことが可能 ■吸着ガス等が極めて少なくクリーンな状態で熱処理を行える ■非常に純度が高く高品質の製品を確保できる ■炉体は上面開閉方式としワークの出し入れが容易に行える構造 ■チャンバー構造は水冷ジャケットや保護カバー等を採用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 焼却炉・焼却装置

『焙焼炉』は、ステンレス製チャンバーの内部に抵抗加熱ヒータ及び断熱材を 設置し、試料を大気中にて加熱し、焙焼を行う装置です。 プログラムタイプの温度調節器を採用し、19個のプログラム（1プログラム/ 19ステップ）を保持、設定が可能。 石英管にヒータを入れることにより、パーティクルコンタミを発生させません。 【特長】 ■過昇温度防止機能で、ヒータの異常加熱を防止 ■無停電電源（制御系のみ）により、瞬時に停電を対策 ■ペーパーレス記録針（8打点）を設け、炉内の温度データを取り込み可能 ■プログラムタイプの温度調節器を採用 ■19個のプログラム（1プログラム/19ステップ）を保持、設定が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 焼却炉・焼却装置

当カタログは、お客様のニーズに合わせた設計、製造、評価、設備の 改善・改造工事等を行っている株式会社三幸の総合カタログです。 真空中又は、ガス雰囲気中での製品の熱処理加工を行い、高品質の製品を 生産する装置「標準小型高温高真空雰囲気炉 1800STシリーズ」をはじめ、 円筒状ヒーターを縦方向に3ゾーンに配置し、角ゾーンを個別に 加熱制御することができる熱処理装置「縦型円筒ヒーターユニット」等、 多数製品をラインアップしています。 【掲載内容（抜粋）】 ■セラミックス製品 ■標準小型高温高真空雰囲気炉 1800STシリーズ ■結晶育成炉 ■高周波誘導加熱方式スカルメルト炉 ■真空高温抵抗合成炉 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 製造受託

XYZは新しい形状の半導体熱処理炉用ヒーターです。ウェハの表面温度均一性と昇降温特性に優れています。 【特長】 ■制御熱電対 ヒータ側壁挿入方式 (制御用4箇所、過温保護用4箇所、アジャスト機構あり) ■断熱材材質 外周：ファインフレックスペーパー 内周：高純度ファイバーモールド ※総合カタログ進呈。詳しくはお問い合わせいただくかPDFをダウンロードしてご覧ください。

• その他ヒータ